.gif)
الموضوعات التي تغطيها
خلفية
تصميم ونظرية عملية
استخدام كهربائي
دولة من بين الفن وإمدادات طاقة AC DC
العمليات
تنظيف الركيزة والنقش على رد الفعل ايون الشعاع
تطبيقات المصدر CD DIAMONEX
خلفية
وDIAMONEX ® المضغوط المصدر هو gridless العاصمة مصدر ايون مغلقة العائمة التي تستخدم الكهرباء عبر (E) والحقول المغناطيسية (B) لتحقيق الحبس وتوليد شعاع البلازما. هذا التكوين والتشابه في النهج المتبع في الاخرق المغنطرون للحد من ضغط التشغيل وزيادة معدل الترسيب فيلم.
.jpg)
تصميم ونظرية عملية
ميثاقا الإلكترون السالب جوفاء المصدر (HCES) ، متحدة المركز عادة مع قناة الأنود ، ويوفر الإلكترونات إلى القطب الموجب لل مصدر CD لإشعال البلازما والمسؤول عن تحييد شعاع الأيوني. منذ شعاع ايون هو المسؤول عن استخراج تحييدها ، ويمكن معالجتها ركائز العازلة مثل الزجاج والبلاستيك من دون تهمة تراكم. بالإضافة إلى ذلك ، الأيونات المستخرجة الحفاظ على الطاقة لديها لذلك ليس مطلوبا مستقلة التحيز الركيزة. بالمقارنة مع مصادر الإلكترون خيوط ساخنة ، و DIAMONEX HCES هو أكثر قوة وأطول عمرا في أجواء الغاز على رد الفعل ، مثل الاوكسجين والمواد الهيدروكربونية.
إغلاق E عبرت حقول نتيجة وباء في تعميم ، المسار أو "مغلقة العائمة" الحقل الكهربائي الذي يحافظ على البلازما عالية الكثافة داخل القناة أنود المصدر الأيوني. هذه الحقول يؤدي أيضا إلى انخفاض المحتملة التي يتم من خلالها تسريع الأيونات بعيدا عن مصدر نحو الركيزة. لذلك ، SOURCE CD يحقق استخراج ايون دون مشاكل التلوث ، وتوليد الجسيمات وانخفاض الكثافة الحالية التي ايون الطاعون grided مصادر أيون. يسلك الناتجة بلازما أيون شعاع انخفاض الطاقة وتوزيعها على نطاق أوسع من الأيونات من ذلك من مصدر ايون شعاع grided ، ولكن مع كثافة الأيونات أكبر بكثير.
استخدام كهربائي
و SOURCE CD DIAMONEX يستخدم مغناطيس كهربائي (بدلا من المغناطيس الدائم) لتوليد حقل B. المغناطيس الكهربائي يسمح لتعديل الحقل B ، ودرجة المضافة لعملية مراقبة مستقلة عن معدل تدفق الغاز. هذا دي اقتران تدفق الغاز من مصادر أخرى يخلق الظروف ميزة المرونة العملية خلال تصاميم أخرى من مصادر أيون gridless.
دولة من بين الفن وإمدادات طاقة AC DC
و SOURCE CD يتم تشغيلها مع العاصمة ، للدولة من بين الفن واللوازم ثبت التيار المتردد لموثوقية الأقصى. لا توجد قضايا تدخل RF مع هذا المصدر.
تصميم ميزات | الفوائد |
المتكاملة HCES | مدمج
أي خيوط ليحرق بها من تلوث
أي تحيز الركيزة المطلوبة |
Gridless | ارتفاع تدفق أيون
لا شبكات لتلويث أو إلقاء الجزيئات |
تصميم فريد الأنود | مستقرة على المدى الطويل عملية
أي قيود عملية الغاز |
العاصمة السلطة | مصدر قوة قوية
لا تدخل الترددات اللاسلكية |
تبريد المياه | تحميل منخفضة الإشعاع -- لا اسخن ركائز الحساسة |
المغناطيس الكهربائي | المرونة في عملية التنمية |
العمليات
و SOURCE CD DIAMONEX هو أداة مرنة ومناسبة بشكل مثالي لمجموعة واسعة من العمليات التجارية تصنيع ايون شعاع التي تستفيد من تدفقات كبيرة من الأيونات ، بما في ذلك تنظيف الحزمة من ايون ، ركائز رد الفعل ايون النقش الحزمة (ريبي) من ركائز والأغشية الرقيقة ، الشعاع المباشر ترسب ايون من الأغشية الرقيقة وايون ترسب الحزمة المساعد (العباد) من الأغشية الرقيقة.
حسب التصميم ، و مصدر القرص هو تدفق عالية ، وانخفاض مصادر الطاقة من الأيونات ، وقادرة على توصيل ايون الكثافة العالية الحالية من 2 مللي أمبير / سم عدة إلى الركيزة ، مما يجعلها حلا مثاليا لمجموعة متنوعة من تنظيف الركيزة ورقيقة ترسب الفيلم التطبيقات.
تنظيف الركيزة والنقش على رد الفعل ايون الشعاع
ويمكن في تنظيف الركيزة والتطبيقات التفاعلية شعاع ايون النقش ، والملوثات السطحية أو طبقات رقيقة يمكن إزالتها بأقل ضرر للالركيزة. خصائص التصميم الفريد لل SOURCE CD التغلب على المشاكل المرتبطة تراكم المواد العازلة على الأنود ، مما مكن ارتفاع معدل ترسيب الأغشية الرقيقة العازلة. مع بسيطة تشكيل الحزم ، والمصدر هو قادر على إيداع الأفلام مع التوحيد سمك ± 2 ٪ على ركيزة بقطر 100 ثابت. لا يمكن أن يتحقق توحيد ± 0.3 ٪ أكثر من ركيزة بقطر 200 ملم من قبل بالإضافة إلى التناوب الركيزة والميل. خصائص المواد الأخرى ، مثل مؤشر الانكسار ، أيضا يحمل التوحيد مماثلة. المصدر يسلم عادة التكرارية سمك التشغيل إلى تشغيل الفيلم من ± 0.5 ٪ للأفلام رقيقة.
- الركيزة التنظيف
- رد الفعل ايون النقش الحزمة
- ترسب مباشر DLC ومواد أخرى
- ايون ترسب الحزمة بمساعدة من الأغشية الرقيقة
تطبيقات المصدر CD DIAMONEX
تدفق أيون مرنة وقابلة للتكرار توفر المهندسين في عملية التنمية على حد سواء وبيئات التصنيع اللازمة للسيطرة على عملية التحسين والاتساق.
و SOURCE CD DIAMONEX هو أداة الدقة التي يمكن استخدامها لتوسيع نطاق التكنولوجيا التقليدية رقيقة ترسب لإيداع الأفلام موحدة ومتماسكة ورقيقة كما أنجسترومز 50 <، أو سميكة إلى 10 ميكرون.
خصائص التصميم الفريد للمصدر السماح لها بالعمل على الغازات التفاعلية مثل الاوكسجين والمواد الهيدروكربونية والتي تحتوي على السيليكون لانتاج الغازات شفافة عازلة ، superhard ، وأفلام منخفضة الاحتكاك tribological. هذه القدرات جعل SOURCE CD مفيدة لالركيزة الحفر والتنظيف أو ترسب في العديد من الأفلام البصرية ، وتطبيقات التخزين ، وأشباه الموصلات وtribological البيانات ، بما في ذلك :
- AR عوازل
- الليثوغرافيا الضوئية
- الألياف البصرية
- ممس
- مرشحات بصرية
- المغناطيسية وسائل الإعلام ورؤساء
المصدر : مورغان الخزف الفني
لمزيد من المعلومات عن هذا المصدر ، يرجى زيارة مورغان الخزف الفني .