海洋の光学による干渉の技術を使用して薄膜の厚さの決定

カバーされるトピック

背景
有害な干渉
仮定

背景

基板の薄膜は表面の反射力で重ねられる反射で干渉縞をできます作成する etalon として見られたとき機能。 正弦ピークの間隔が、材料の屈折率と結合されたとき材料の厚さを計算するのに、使用することができます。

有害な干渉

次の関係が満足するとき有害な干渉 (すなわち、最小値) は発生します:

M は最小数を表します。 どうしてもこれがあなたが持っている振動の番号であると考えることの間違えないで下さい! 私達は y = mx + B. 形式の線形方程式の形でこれを再配列するためにいくつかの数学ステップを行ってもいいです。

{C}

 これはの形で y = mx + b 今あります

{C}

それから最小値 (n) の頻度を対最小数 (m) 計画すれば、私達は知られていた屈折率がある厚さを計算するのに斜面、 m が、使用することができる線形グラフを見るべきです。 メモ: n= c/l

最小値および最大値は別に計画されなければなりません。 (最大値が最小値からの 1/2 のピリオド常にであるので) 妨害が M= 1/2 によって異なっているが両方とも同じ斜面があるべきです。 2 つの斜面から得られる厚さの相違を見ることは測定の正確さの 1 台の表示器です。 斜面からの厚さを計算するため:

{C}

またその波長範囲上の平均 R.i. を定めるのに知られていた厚さを使用できます:

{C}

仮定

これらの計算は屈折率が一定しているという仮定をします。 実際には、屈折率は波長と変わります。 それがどのように変わるか決まります材料によって、従ってこの限られたスコープの作業のすべての材料のために予測することは可能ではないです。 r.i. の変化の機能形式を波長の機能として知っていて、 1 つは最初の同等化できます (およびそれに続く派生を) 修正:

{C}

意味される何が n (l) によってあなたのための計算をするために、それをならソフトウエアパッケージを買う時間知らなければ!

なされるもう一つの仮定はサンプルの厚さが均一であることです。 厚さの変化および測定のエラー両方の考えを得るために複数の位置でこの測定を繰り返すことが推薦されます。

この測定のエラーの最初の推定値が最大値および最小値を使用して、厚さを別に計画し、計算するように。 同じデータから得られる 2 つの厚さ間の相違は測定の最小のエラーです。

海洋の光学について

海洋の光学は光学感知の多様化させた photonics のテクノロジー企業そして全体的なリーダーです。 米国の全サービス位置によって、ヨーロッパおよびアジアの海洋の光学はプロセス制御、家電および医学の診断を含む市場の広い範囲を、機能します。

この情報は海洋の光学によって提供される材料から供給され、見直され、そして適応させて。

このソースのより多くの情報のために、海洋の光学を訪問して下さい

 

Date Added: Nov 1, 2007 | Updated: May 10, 2013

Last Update: 10. May 2013 12:39

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