| 分析的な Hiden は 1981 年に創設され、 Warrington、 50 上のの2 スタッフが付いているイギリスの 2,130m の製造工場に現在置かれます。 私有の会社が私達の顧客と近く、積極的な関係を作成することで私達の評判構築されるように。 これらの顧客の多数は - 血しょう研究、表面科学、処理し、ガス分析真空のフィールドの…新技術の最前線で働いています。 分析的なこの評判 Hiden を維持するためには、長年かけて、私達の会社内のこれらの領域に技術的専門知識の例外的なレベルを確立してしまいました。 概要 Hiden からの ESPION は使用できる Langmuir の最先端、正確なおよび信頼できるプローブです。 血しょう診断のフィールドの経験の年から、 Hiden は ESPsoft 制御ハードウェア/ソフトウェアに脈打った血しょうの時間によって解決される測定のためのパフォーマンスをとりわけ改善するために高速機能を組み込みました。 血しょうからの薄膜の沈殿 薄膜の沈殿は材料の表面の特性を修正するために用いられます。 沈殿プロセスの安定性および沈殿させたフィルムの特性は調整された血しょうの使用によって改良することができます。 このアプリケーションノートで示されるデータはから - 400V からの + マイクロ秒の順序で一時的な時間の 200 ボルトに電圧変更との 100kHz まで頻度で、働く脈打った DC電源によって生成される調整された血しょうです。 従ってこの速い変調は排出および本質的な血しょうパラメータの血しょう条件に影響を及ぼします。 それは変調サイクルの DC電源逆の部品に電源からの電圧が沈殿の特性を修正するためにイオンが十分なエネルギーを得る少数のマイクロ秒の偏りのある陽性のとき、あります。 Hiden の ESPION Langmuir のプローブに変調サイクルのマイクロ秒の時間枠の血しょうパラメータを測定する超高速のデータ収集速度があります。 このアプリケーションノートは高速 ESPION Langmuir のプローブシステムの使用を説明するデータを含んでいます。 実験 実験は空の陰極の排出で行われ、使用されたガスはアルゴンおよび酸素でした。 Ar と行われる測定だけここに示される結果で示されます。 排出は高度 Energy Inc. (電源と AE) と Pinacle 作成され、測定は Hiden 分析的な ESPION と得られました。 ESPION のプローブは RF 血しょうアプリケーションに ESPION システムで使用した誘導器を妨げる RF の代わりにワイヤーとの標準 DC 構成で、使用されました。 測定の状態 ガス圧力は 50 mTorr でした。 血しょうパラメータは血しょう DC 変調と次の通り測定されました: • 実験 1: 100kHz freq、 2µs 逆の時間、 30W • 実験 2: 60kHz freq、 3µs 46W の逆の時間、 46W • 実験 3: 45kHz freq、 6µs 30W の逆の時間、 30W システムセットアップ トリガーのシグナルは調整された電源からデータ収集脈打った血しょうと ESPION を同期する必要となります。 ESPION に電源からのパルスと誘発される TTL のトリガー入力があります。 1 マイクロ秒以下の立上り時間の TTL のシグナルに 100x 電圧プローブが AE の電源からのシグナルを、 ESPION を誘発するシグナルを提供する減らすのに電圧プローブのシグナル変換されました使用されました。 図式的なセットアップは図 1. のショーです。 
高度エネルギー電源からの ESPION のプローブのトリガー入力 TTL のトリガーパルスの作成 電源から誘発されたパルス発生器が TTL のトリガーパルスを作り出すのに使用されました。 シグナルの測定の時間の遅れをもたらすためには、シグナル発電機 TTL のパルスは 100 マイクロ秒の 1 マイクロ秒以下そして持続期間のステップ端か立上り時間を過すように必要となりました。 正常な時間によって解決される測定を持っていることは必要です: a. オシロスコープによってタイミングを点検して下さい b. ESPION に TTL レベルのシグナルを供給して下さい c. 電圧波形の運転からの TTL レベルのシグナルを生成して下さい。 獲得の時間に信号を送って下さい ESPION は TTL のシグナルのレシートのデータ収集を開始します。 ESPION システムは 500ns よりより少しの内の 100mA 波形のステップのステップに答えます。 認識のための 62.5ns およびアナログ-デジタル変換 (ADC) のための固定 125ns までのの追加時は必要となります。 ADC はそれから 350ns 内の応用電圧を捕獲します。 それは ESPION が流れの変更を 「見る」時間間隔の中間点が外部トリガーが ESPION に適用されるときであること仮定することができます。 ESPION のプローブはデータ ~ 30kHz のサンプル速度を得ることができ自動的に次の使用できるトリガーのトリガーはトリガーの頻度 > 30kHz がおよびこうして >>30KHz で脈打った血しょうからのデータ収集が可能もし、研ぎます。 100KHz 変調は次詳しく述べられた実験 1 で使用されました。 ESPION の利点は速く各データ測定間の間隔の 0.125 マイクロ秒以内のへデータ収集機能、それではないですデータの獲得のための外部遅延の発電機を供給して必要です。 電圧波形からの逆の期限のデータ収集設定の例 結果 実験 1: 脈打った血しょう 100kHz、 2µs 逆の時間、 50mTorr、 30W 
電圧波形 
現在の波形 
血しょう潜在性および血しょう浮遊 
血しょう密度 
電子温度 実験 2: 脈打った血しょう 60kHz、 3µs 逆の時間、 50mTorr、 46W 
電圧波形 
現在の波形 
血しょう潜在性および血しょう浮遊 
血しょう密度 
電子温度 実験 3: 脈打った血しょう 45kHz、 6µs 逆の時間、 50mTorr、 30W 
電圧波形 
現在の波形 
血しょう潜在性および血しょう浮遊 
血しょう密度 
電子温度 結論 3 つの実験のデータセットは ESPION が 0.125 マイクロ秒に時間解像度の主血しょうパラメータを測定することを説明します。 それ得られたデータから血しょうパラメータ (図 5-7、 10-12 および 15-17) が高度 Energy Inc. 電源 (図 3、 8 および 13) の測定された波形に期待どおりに答えること示されていました。 Hiden の ESPION の利点は各測定間の間隔の 0.125 マイクロ秒以内にに測定されるデータの速いデータ収集です更にによって ESPION システムの自動時間によって解決されるデータ収集機能によるデータの獲得のための外部遅延の発電機を供給することは必要ではない。 |