خلفية كربيد السيليكون (كذا) هو الاختيار الطبيعي لمكونات معدات اشباه الموصلات بسبب التوصيل الحراري العالية والمقاومة للتآكل والاحتكاك والتآكل. جعلت قدرته على تحمل الاستعمال المستمر والمكثف لمادة واحدة من أكثر موثوقية. على الرغم من كربيد يمكن تصنيعها في مجموعة متنوعة من الطرق ، بما في ذلك الضغط على الساخن ، وتفاعل المستعبدين متكلس ، والأكثر فائدة هو من خلال عملية تسمى الكيميائية ترسب بخار (الأمراض القلبية الوعائية). مورغان متقدمة سيراميك تقسيم المواد CVD تطورت تطورا CVD كربيد تكنولوجيا تصنيع لتوريد عالية الأداء CVD كربيد العناصر المطلوبة من جانب صناعة أشباه الموصلات. 
أنواع من كربيد السيليكون يعرض الجدول 1 الأنواع الأربعة الأكثر شيوعا من كربيد السيليكون ، والتي تشمل المواد الكيميائية ترسب بخار (الأمراض القلبية الوعائية) كربيد ، حار ضغطت كربيد ، رد فعل المستعبدين كربيد ، ومتكلس كربيد . الجدول 1. مقارنة بين أساليب تصنيع كربيد السيليكون. | نقاء | 99.999 ٪ + | 97-99،9 ٪ + | 99 ٪ | 99 ٪ | الكثافة (ز الطول -3) | 3.21 | 3،15-3،20 | 3،00-3،15 | 3.15 | المسامية | تذكر | <1 ٪ | <1 ٪ | 1-2 ٪ | التوصيل الحراري (W م -1 K -1) | 250-300 | 100-180 | 100-150 | 100-140 | معامل التمدد الحراري (درجة مئوية -1) | 4.4 × 10 -6 | 4.5 × 10 -6 | 4.5 × 10 -6 | 4.2 × 10 -6 | قوة العاطفة (10 3 رطل) | 60-70 | 60-80 | 40-70 | 50-60 | معامل مرونة (10 6 رطل) | 65 | 65 | 65 | 60 |
اد الكيميائية ودائع بخار السيليكون كاربايد في تطبيقات أشباه الموصلات كما يوضح الجدول 1 ، كربيد السيليكون من خلال عملية تشكيل الأمراض القلبية الوعائية وتتفوق outlasts أنواع أخرى من كربيد السيليكون ، فضلا عن الكوارتز ، والمعادن والسيراميك ، في بيئة عدائية للغاية من تصنيع أشباه الموصلات. تقليديا ، كانت ملفقة عدد من مكونات أشباه الموصلات من كربيد المغلفة الجرافيت. في هذه الحالة ، يتم تشكيله على جزء من الغرافيت عالي النقاء ، في وقت لاحق والمغلفة بطبقة من كربيد الأمراض القلبية الوعائية . ومع ذلك ، فإن عمر كربيد تقتصر مكونات الجرافيت مغلف بالمطاط في هجوم بطيء من كربيد طلاء ، مما أدى إلى تشكيل الثقوب في المواد والهجوم السريع لاحقة من الجرافيت الكامنة. متآلف CVD كربيد هو خيار أفضل بكثير لمكونات أشباه الموصلات لأنه يتيح لها عمر أطول وأكثر اقتراحا فعالة من حيث التكلفة. بعد الحاح الساخنة ومتكلس كربيد السيليكون في تطبيقات أشباه الموصلات حار ضغطت كربيد ومتكلس كربيد هما درجات أقل تكلفة من كربيد السيليكون مماثلة مع تقنيات التصنيع وخصائص الأداء مماثلة. ومع ذلك ، تحدث تغيرات الأبعاد بين الدول الأخضر وأطلقت النار وإنهاء سطح المنتج النهائي هو خشنة نسبيا والتي يسهل اختراقها. الأهم من ذلك لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، والمضافات المستخدمة في تصنيع الساخنة والضغط متكلس كربيد هي رد الفعل كيميائيا ، مما أسفر عن الأكسدة والتآكل والتعرية الكيميائية التي يمكن أن تسبب مضاعفات في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات. رد فعل الاستعبادي سي licon كاربايد في تطبيقات أشباه الموصلات نوع آخر من كربيد المستخدمة في المعالجة الحرارية السريع (RTP) معدات أشباه الموصلات السيليكون تسلل ، ورد الفعل العبودي ، منيع كربيد السيليكون. رد فعل المستعبدين كربيد لديها كثافة منخفضة نسبيا (3،00-3،15 الطول ز -3) والمستويات العالية من الشوائب العضوية. علاوة على ذلك ، تفاعل المستعبدين كربيد لديه ميل لإنتاج عناصر المرتشحة. ولذلك ، فإن هذه المواد المتفاعلة كيميائيا جدا وضعيفة للغاية بالنسبة لكثير من التطبيقات أشباه الموصلات. مزايا licon CVD كاربايد في تصنيع أشباه الموصلات سي كربيد الأمراض القلبية الوعائية وقد جرت العادة على استخدامها في تطبيقات معالجة أشباه الموصلات ، مثل أكسيد RTP ومكونات الغرفة حفر التي تستفيد من كربيد المقاومة "ليالي ممتازة للتآكل والصدمة الحرارية بواسطة البلازما ذات الطاقة العالية. وترسيب الأبخرة الكيميائية العملية متجانسة تنتج بذاتها CVD كربيد بدرجة نقاء عالية للغاية (99.9995 ٪). والخواص مكعب التركيب البلوري ß يوفر الكثافة النظرية (3.21 جم / سم مكعب) مع عدم وجود أي شروخ المسامية والصغيرة ، وضمان التجانس ضمن سلسلة الإنتاج وإعادة الإنتاج بين دفعات. علاوة على ذلك ، CVD كربيد هو أصعب بكثير من المعادن والسيراميك المشترك ، ويمكن مصقول لمرآة النهاية مثل دائم (<3 (أ) RMS). وهناك مواد خفيفة الوزن (مشابه للألومنيوم) ، كربيد الأمراض القلبية الوعائية واحدة من أفضل النسب صلابة لوزن المتاحة. هذه الصفات تقدم العديد من مزايا الأداء الهامة. مع مقاومتها العالية للتآكل والاحتكاك ، كربيد الأمراض القلبية الوعائية هي متينة للغاية ، غير المدرة للمواد الجسيمات التي هي المثل الأعلى للبيئة نظيفة جدا من مرافق تصنيع أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك ، مع مقاومته للأكسدة والتآكل والتعرية الكيميائية ، و الأمراض القلبية الوعائية كربيد مكونات الوقوف إلى البلازما والأحماض المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات والتنظيف. كربيد الأمراض القلبية الوعائية كما انخفاض معامل التمدد الحراري (4.5x10 -6 درجات مئوية في الفترة من 20 درجة مئوية -- 400 درجة مئوية) والموصلية الحرارية عالية جدا (≥ 250 واط / مللي كلفن في درجة حرارة 20 مئوية) ، فضلا عن الأداء الجيد في ارتفاع درجات الحرارة (تصل إلى 1700 درجة مئوية). نموذجي تطبيقات CVD كربيد السيليكون السريع تطبيقات معالجة الحرارية. خصائص استثنائية الحرارية كربيد الأمراض القلبية الوعائية جعلها مادة مثالية لتطبيقات الحرارية السريع (RTP) قيد التنفيذ. RTP خلال تطبيق نبضة الحرارة الشديدة إلى الرقاقة الفردية لفترة قصيرة جدا من الزمن. ومن ثم تحولت قبالة الحرارة ويبرد بسرعة الرقاقة. في عملية نموذجية ، قد يكون ساخنا رقاقة من 20 درجة مئوية إلى 1100 درجة مئوية في غضون ستة إلى سبع ثوان فقط ثم يبرد وبالسرعة. مورغان متقدمة سيراميك تقسيم المواد CVD تنتج الثورية ، والدقة تشكيله كربيد الأمراض القلبية الوعائية "حلقات الحافة" التي تحمل رقاقة السيليكون أثناء معالجة. الرقاقة يجلس داخل استراحة في القطر الداخلي للحلقة الحافة. حافة الحلبة لا يفطر خلال RTP لأن كربيد الأمراض القلبية الوعائية وارتفاع مقاومة الصدمة الحرارية من المواد الأخرى التقليدية مثل الخزف الالومينا والكوارتز. الموصلية الحرارية العالية من كربيد الأمراض القلبية الوعائية يؤدي أيضا وظيفة مهمة من التعادل سريعا في درجات الحرارة في جميع أنحاء القطر الخارجي لل كربيد رقاقة.  في سيناريو مثالي تجهيز RTP ، سيكون الرقاقة علقت في الهواء أو الفراغ إلى تمكين موحد للتدفئة سطح الرقاقة. و كربيد الأمراض القلبية الوعائية حافة الحلبة رقيقة جدا (توفير كتلة حرارية منخفضة) ، وبالتالي لا تعقد حلقة حرارة كبيرة ، مما يجعلها غير مرئية تقريبا لعملية التدفئة والتبريد. تطبيقات البلازما إحفر عالية المقاومة الكيميائية يجعل CVD كربيد مادة مثالية لتطبيقات معالجة حفر. وهناك عدد من الغرف عملية حفر استخدام كربيد الأمراض القلبية الوعائية لوحات توزيع الغاز ، حيث يتم توزيع الغاز من خلال النقش الذي الدش عدة آلاف من الثقوب الصغيرة ، في البلازما وبعد ذلك على سطح الرقاقة. ميزة كربيد الأمراض القلبية الوعائية مقارنة مع المواد البديلة في هذا التطبيق هو التفاعل فيها منخفضة لغاز الكلور والفلور ، التي تحتوي على غازات حفر. كربيد الأمراض القلبية الوعائية يمكن استخدامه كمادة للتركيز في الحلقات التي يتم تطبيقها على الجهد الحلقات لتركيز البلازما الذي يمر عبر الحلبة. يجب أن تكون هذه الحلقات على توصيل الكهرباء كافية للسماح تطبيق الجهد. تبذل حاليا العديد من هذه الحلقات من السيليكون. اعتمادا على الغاز في عملية البلازما (مثل الكلور أو الفلور التي تحتوي على جزيئات) ، سيتم التركيز على عصابة هاجمت السيليكون كيميائيا. والخاتم هو المتدهورة ويتم تقليل فترة بقائه ، ما لم يتم مصنوعة من كربيد الأمراض القلبية الوعائية ، والذي يمنع التدهور. ملخص CVD كربيد المكونات التي قدمتها الفرقة مورغان سيراميك المواد المتقدمة CVD تم تطويرها لتوفير أعلى مستوى من الأداء في صناعة أشباه الموصلات. CVD كربيد غير المعترف بها كخيار للقسط المكونات في RTP ، إحفر وغرف تجهيز إبيتاز ، لا سيما في التطبيقات التي المقاومة الكيميائية ، ارتفاع في درجة الحرارة ، وركوب الدراجات الحرارية السريع ، ونقاء عالية جدا ومتطلبات النظام. |