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Sfondo
Sottile-Pellicole in Circuiti Integrati
Microspectrophotometers per la Misura Di Sottili Pellicole di Spessore
Misure Di Sottili Pellicole di Spessore sui Substrati di Obaque e Trasparenti
Sfondo
Le Tecnologie di CRAIC è i mondi che piombo il rivelatore degli strumenti scientifici dell'intervallo UV-visibile-NIR per microanalisi. Questi includono gli strumenti UV-visibili-NIR del microspectrophotometer di serie di QDI destinati per aiutarvi la misura non-distruttivo i beni ottici dei campioni microscopici. I microscopi di serie del UVM di CRAIC coprono l'intervallo UV, visibile e di NIR e vi aiutano ad analizzare con le risoluzioni di submicron molto al di là dell'intervallo visibile. Le Tecnologie di CRAIC egualmente ha il microspectrometer di Raman di serie del CTR per l'analisi non distruttiva dei campioni microscopici. E non dimentichi che CRAIC appoggia fiero i nostri prodotti del microscopio e di microspectrometer con servizio e supporto ineguagliati.
Sottile-Pellicole in Circuiti Integrati
I circuiti integrati Moderni sono fatti depositando i livelli di materiali differenti sopra i substrati e poi incidendo i circuiti all'interno di quelle pellicole. Lo spessore delle pellicole deve essere per riproducibile produttore precisamente controllato i circuiti integrati da cui così tanto delle nostre vite dipenda. Comunemente, le pellicole sono densamente soltanto dieci dei nanometri ed hanno dimensioni del circuito nell'intervallo di submicron.
Microspectrophotometers per la Misura Di Sottili Pellicole di Spessore
come tale, i microspectrophotometers, come quelli fabbricati dalle Tecnologie di CRAIC, sono rapidamente uno di strumenti più efficaci, facilmente ed attendibilmente misurano lo spessore di pellicola. Tali strumenti di misura di spessore di pellicola sono destinati senza cuciture per integrare il microspectrophotometer con software e automazione specializzati per misurare lo spessore di pellicola sottile delle aree di campionamento che possono essere più piccole di un micron attraverso. Tali strumenti sono destinati per misurare lo spessore di pellicola di molti tipi di pellicole depositate sopra molti tipi di substrati.
Misure Di Sottili Pellicole di Spessore sui Substrati di Obaque e Trasparenti
Le misure di spessore di Pellicola possono essere effettuate sia sui substrati trasparenti che opachi che permette a tali strumenti di essere utilizzato per riflettere gli spessori di pellicola su tali unità come gli schermi piatti oltre ai chip a semiconduttore ed alle unità di MEMS.
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Figura 1 è un esempio di un circuito integrato come visto attraverso un microspectrophotometer delle Tecnologie di CRAIC. Il quadrato nero è l'apertura diaframma dello spettrofotometro stessa dell'entrata. Il passaggio Leggero attraverso quell'apertura diaframma è misurato in termini di intensità contro la lunghezza d'onda. Poichè uno vede comunemente con tali pellicole sottili come il petrolio sull'acqua, il risultato è un reticolo di interferenza di cui le posizioni di punta sono determinate da una serie di fattori… compreso lo spessore della pellicola. Figura 2 è un tale esempio.
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Figura 1. Circuito Integrato come visto attraverso un microspectrophotometer di Tecnologie di CRAIC
Questi spettri di tre riflessioni sono di tre spessori differenti della pellicola del diossido di silicio depositata su un substrato di silicio. Facendo Uso di questi spettri, il software di QDI FilmPro™ poi modella gli spessori di ciascuno dei livelli facendo uso di una serie di algoritmi specializzati. I risultati indicano che lo spettro rosso ha uno spessore di 10,1 nanometri, del blu uno spessore di 30,0 nanometri e del verde uno spessore misurato di 50,0 nanometri. Questa stessa tecnica può essere usata per misurare lo spessore di pellicola dalla trasmissione o dalla riflessione di molti tipi di materiali e di substrati. E dovuto la flessibilità delle soluzioni di misura di spessore di pellicola sottile delle Tecnologie di CRAIC, campionare le aree può variare oltre da 100 micron attraverso a submicron.
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Figura 2. le Gamme di Riflessione di Tre Spessori Differenti della Pellicola del Diossido di Silicio Depositata sul Substrato di Silicio
Sorgente: Tecnologie di CRAIC.
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