Характеризация Сделанных По Образцу Субстратов Сапфира Используя Оптически Profiler 3D

AZoM

Содержание

Введение
Автоматизированный Анализ Характеристики
Заметные Характеристики
О Аппаратурах Zeta

Введение

Изготовление диодов высок-яркости светоиспускающих (HB-СИД) сделано на вафлях сапфира. Субстрат сделан по образцу при малюсенькие структуры, увеличивая светлую эффективность извлечения законченных приборов. Насущные проблемы как вывихивания рассогласования и кристалла R.I. также разрешены используя сделанные по образцу субстраты сапфира (PSS).

Пакет Zeta-PSS предлагает быструю характеризацию характеристик рему субстрата. Одиночная развертка способна измерять тангаж, высоту и ширину. Все типы рецептов рему субстрата доступные покрыны включать купол-форменно, конус-форменно, плоско или фоторезисты.

На Диаграмму 1 показано некоторые развертки примера на системе Profiler Zeta Оптически.

Диаграмма 1. Пример просматривает на системе Profiler Zeta Оптически.

Автоматизированный Анализ Характеристики

На Диаграмму 2 показано перекрестную секционную линию с поверхностным профилем, статистик для дистанционирования ширины, высоты, тангажа и характеристики в области видимости так же, как плоском и полн-регулируемом трехмерном взгляде рему PSS.

Диаграмма анализ 2. Поперечных сечений и связанные характеристики рему PSS измеренных с Profiler Zeta Оптически.

Заметные Характеристики

Характеристики пакета Zeta-PSS являются следующими:

  • Profiler Zeta Оптически принимает развертку (70 X 90 μm) в секундах обширного района.
  • ПО Zeta 3D включает отчет о анализа одн-страницы который включает 2-размер и трехмерные изображения, поперечное сечение и статистический анализ всех характеристик в области видимости.
  • Большое количество результатов сохранены в формате текста электронной таблицы.
  • Автоматизированные X-Y рецепты этапа и multi-места включают характеризацию всей вафли.
  • Ручная система нагрузки для R&D и автоматизированный XY этап для продукции.
  • Цыплеята Вакуума для вафель различных размеров.
  • Пакет Вибрации и изоляции Относящого К Окружающей Среде шума.
  • Piezo-Этап для разрешения высоты 2 nm.
  • Воображение Истинного цвета 3D включает просмотрение дефектов как скресты или пропавшие рему.

ПО Zeta 3D анализирует стандартные плоские или трехмерные изображения вафли для общей поверхностной характеризации:

  • Высота Шага.
  • Поверхностная шершавость.
  • Размер Характеристики, диаметр, зона и том.
  • Смычок Вафли.
  • визуализирование поверхности 3D в истинном цвете.
  • Статистик.
Опционный Piezo этап Z обеспечивает 2 nm, разрешение Z-Высоты и повторимость 3s чем ± 15 nm * Как измерено на 1 стандарте высоты шага VLSI μm (FIGS. 3-5).

Диаграмма 3. измерения Profiler Zeta Оптически высоты и ширина сопоставляют хорошо с AFM.

Диаграмма 4. Опционный Piezo этап Z обеспечивает 2 nm, разрешение Z-Высоты и повторимость 3s чем nm* ±15.

Диаграмма 5. Profiler Zeta 3D Оптически с piezo-этапом и 2" цыпленок вафли.

О Аппаратурах Zeta

Аппаратуры Zeta ведущий провайдер систем измерения микроструктуры и поверхности точности которые позволяют изготовления зелен-технологии и биомедицинских продуктов существенно улучшить выходы и проверку качества. Выдвинутые Zeta разрешения метрологии снабубегут сразу преимущество продукция СИД высок-яркости, фотоэлементов, микро--fluidics/биотехнологии и магнитных носителей записи. Запатентованная технология Z-Dot™ включает изготовления к быстро и точно выполняет измерение 3D характеристик микрон-маштаба этих применений, располагая Zeta как стратегический поставщик к этим быстрорастущим отраслям промышленности.

Разрешения Метрологии от Аппаратур Zeta идеально одеты адресовать возможности измерения ые этими индустриями:

  • СИД.
  • Биотехнология.
  • Солнечно.
  • Хранение данных.

Эта информация найденный, расмотрена и приспособлена от материалов обеспеченных Аппаратурами Zeta.

Для больше информации на этом источнике, пожалуйста посетите Аппаратуры Zeta.

Date Added: Apr 23, 2012 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 16. June 2013 07:27

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit