AZoM
Содержание
Введение Автоматизированный Анализ Характеристики Заметные Характеристики О Аппаратурах Zeta Введение
Изготовление диодов высок-яркости светоиспускающих (HB-СИД) сделано на вафлях сапфира. Субстрат сделан по образцу при малюсенькие структуры, увеличивая светлую эффективность извлечения законченных приборов. Насущные проблемы как вывихивания рассогласования и кристалла R.I. также разрешены используя сделанные по образцу субстраты сапфира (PSS).
Пакет Zeta-PSS предлагает быструю характеризацию характеристик рему субстрата. Одиночная развертка способна измерять тангаж, высоту и ширину. Все типы рецептов рему субстрата доступные покрыны включать купол-форменно, конус-форменно, плоско или фоторезисты.
На Диаграмму 1 показано некоторые развертки примера на системе Profiler Zeta Оптически.
.jpg)
.jpg)
.jpg)
Диаграмма 1. Пример просматривает на системе Profiler Zeta Оптически.
Автоматизированный Анализ Характеристики
На Диаграмму 2 показано перекрестную секционную линию с поверхностным профилем, статистик для дистанционирования ширины, высоты, тангажа и характеристики в области видимости так же, как плоском и полн-регулируемом трехмерном взгляде рему PSS.
.jpg)
Диаграмма анализ 2. Поперечных сечений и связанные характеристики рему PSS измеренных с Profiler Zeta Оптически.
Заметные Характеристики
Характеристики пакета Zeta-PSS являются следующими:
- Profiler Zeta Оптически принимает развертку (70 X 90 μm) в секундах обширного района.
- ПО Zeta 3D включает отчет о анализа одн-страницы который включает 2-размер и трехмерные изображения, поперечное сечение и статистический анализ всех характеристик в области видимости.
- Большое количество результатов сохранены в формате текста электронной таблицы.
- Автоматизированные X-Y рецепты этапа и multi-места включают характеризацию всей вафли.
- Ручная система нагрузки для R&D и автоматизированный XY этап для продукции.
- Цыплеята Вакуума для вафель различных размеров.
- Пакет Вибрации и изоляции Относящого К Окружающей Среде шума.
- Piezo-Этап для разрешения высоты 2 nm.
- Воображение Истинного цвета 3D включает просмотрение дефектов как скресты или пропавшие рему.
ПО Zeta 3D анализирует стандартные плоские или трехмерные изображения вафли для общей поверхностной характеризации:
- Высота Шага.
- Поверхностная шершавость.
- Размер Характеристики, диаметр, зона и том.
- Смычок Вафли.
- визуализирование поверхности 3D в истинном цвете.
- Статистик.
Опционный Piezo этап Z обеспечивает 2 nm, разрешение Z-Высоты и повторимость 3s чем ± 15 nm * Как измерено на 1 стандарте высоты шага VLSI μm (FIGS. 3-5).
.jpg)
Диаграмма 3. измерения Profiler Zeta Оптически высоты и ширина сопоставляют хорошо с AFM.
.jpg)
Диаграмма 4. Опционный Piezo этап Z обеспечивает 2 nm, разрешение Z-Высоты и повторимость 3s чем nm* ±15.
.jpg)
Диаграмма 5. Profiler Zeta 3D Оптически с piezo-этапом и 2" цыпленок вафли.
О Аппаратурах Zeta
Аппаратуры Zeta ведущий провайдер систем измерения микроструктуры и поверхности точности которые позволяют изготовления зелен-технологии и биомедицинских продуктов существенно улучшить выходы и проверку качества. Выдвинутые Zeta разрешения метрологии снабубегут сразу преимущество продукция СИД высок-яркости, фотоэлементов, микро--fluidics/биотехнологии и магнитных носителей записи. Запатентованная технология Z-Dot™ включает изготовления к быстро и точно выполняет измерение 3D характеристик микрон-маштаба этих применений, располагая Zeta как стратегический поставщик к этим быстрорастущим отраслям промышленности.
Разрешения Метрологии от Аппаратур Zeta идеально одеты адресовать возможности измерения ые этими индустриями:
- СИД.
- Биотехнология.
- Солнечно.
- Хранение данных.
.jpg)
Эта информация найденный, расмотрена и приспособлена от материалов обеспеченных Аппаратурами Zeta.
Для больше информации на этом источнике, пожалуйста посетите Аппаратуры Zeta.