AZoM의
목차
소개 태양 전지 프로세스 특성 단청과 많은 실리콘에 짜임새 표면 비율 필름 간격 측정 편리한 가장자리 검사 모듈 자동화된 접촉 핑거 탐지 및 검사 Zeta 태양 포장 윤곽 Zeta 계기에 관하여 소개
태양 전지의 성과는 필름 간격 기질 짜임새, 정확한 접촉 핑거 대형 및 웨이퍼 가장자리 질과 같은 다수 매개변수에 달려 있습니다. Zeta에 의하여 자동화된 3D 측정 시스템은 각 사이트를 위한 1 분 미만에 있는 복잡한 표면의 트루 컬러 분석 그리고 화상 진찰을 제안합니다. ZDot 소유와 혁신적인 기술은 높게 매끄러운에서 높게 거친에 표면의 거의 모든 모형의 측정을 가능하게 합니다.
태양 전지 프로세스 특성
단청과 많은 실리콘에 짜임새 표면 비율
피라미드 구조물의 에칭은 웨이퍼 표면에 아래에 Zeta 3D 심상에 보이는 것처럼 태양 전지 흡광을, 향상하기 위하여 행해집니다 (FIG. 1). 시계에 있는 피라미드는 웨이퍼를 통해 몇몇 사이트에 반복하는 순서로 분석되고 세어집니다.
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웨이퍼 표면 및 대응 분석에 숫자 1. 피라미드 구조물의 Zeta 3D 심상.
필름 간격 측정
30 nm에서 10 µm에 필름 간격은 거친에 조차 공정한 판단 분광계를 사용하여 결의가 굳을, 수 있고 짜임새 실리콘은 떠오릅니다 (FIG. 2).
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공정한 판단 분광계를 사용하는 필름 간격의 숫자 2. 결심.
편리한 가장자리 검사 모듈
웨이퍼 가장자리, 에칭 또는 닦는 프로세스에서 전도성 지역을 제거하는 것은 사용됩니다; 그(것)들은 그러나 좋습니다 손상을 초래해서 할 수 있습니다. 웨이퍼 가장자리의 Zeta 3D 심상은 아래에 보여집니다 (FIG. 3). 소밀과 모양을 보여주는 권리에 웨이퍼 가장자리의 몇몇 단면은 보입니다.
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숫자 3. 웨이퍼 가장자리 및 대응 특성의 Zeta 3D 심상.
자동화된 접촉 핑거 탐지 및 검사
높 동적인 범위 화상 진찰을 사용하여 금속 접촉 핑거의 분석의 자동화는 Zeta 200 시스템을 사용하여 가능하게 됩니다.
높 동적인 범위 화상 진찰의 특징은 아래와 같이 열거됩니다:
- 자동 초점은 웨이퍼 표면의 탐지를 가능하게 합니다.
- 패턴 인식은 심상 센터에 금속 패턴을 결정하고 동일 배열하기 가능하게 합니다.
- 조리법 정의한 검사 매개변수는 수직 범위의 통제를 가능하게 하고 도움은 최저 (질화물 입히는) 반사력과 높 반사력 (금속) 표면을 수용하기 위하여 조명을 조정합니다.
- 분석 소프트웨어는 각종 단면의 고도 그리고 폭을 자동적으로 결정합니다.
- 선택적인 순서는 웨이퍼를 통해 사이트에 측정을 반복합니다.
Zeta 태양 포장
Zeta 3D 소프트웨어는 기준 제 2 또는 뒤에 오는 것 포함하는 일반적인 지상 특성을 위한 3D 웨이퍼 심상을 검토합니다:
- 표면 거칠기.
- 최소 배선 폭, 직경, 지역 및 양.
- 단계 고도.
- 웨이퍼 활.
- 필름 간격.
- 트루 컬러에 있는 3D 표면 구상.
- 통계.
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숫자 4. Zeta 200 시스템 시리즈 (클로우즈업).
윤곽
시스템의 몇몇 윤곽은 뒤에 오는 것 포함하십시오 유효합니다:
- Zeta 20 연구 및 개발을 위한 수동 짐 시스템.
- 자동화된 XY 단계를 가진 Zeta 200 시스템.
- 선택적인 가장자리 측정 정착물.
- 선택적인 필름 간격 측정.
- 다른 규모의 웨이퍼를 위한 진공 물림쇠.
- 2 nm 고도 해결책을 위한 Piezo 단계.
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숫자 5. Zeta 200 시스템 시리즈.
주문을 받아서 만들어진 태양 전지 분석 소프트웨어는 생산 준비되어 있는 기질 짜임새 특성을 가능하게 하고 핑거 검사를 접촉하기 위하여 조리법 구성하고 있습니다.
Zeta 계기에 관하여
Zeta 계기는 녹색 기술과 생물 의학 제품의 제조자를 상당히 수확량과 품질 관리를 향상하는 가능하게 하는 정밀도 미세와 표면 측정 시스템의 주요한 공급자입니다. Zeta에 의하여 진행된 도량형학 해결책은 높 광도 LEDs, 태양 전지, 마이크로 응용 유체 역학/생물공학 및 자석 저장 수단의 생산에 직접적인 이익을 제공합니다. Z-Dot™ 특허가 주어진 기술은 빨리에 제조자를 그리고 정확하게 실행합니다 이 고성장 산업에 전략적인 공급자로 Zeta를 두는 이 응용의 미크론 가늠자 특징의 3D 측정을 가능하게 합니다.
Zeta 계기에서 도량형학 해결책은 이상적으로 이 기업에 의해 대결된 측정 도전을 제시하는 적응됩니다:
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이 정보는 Zeta 계속 계기에 의해 제공된 물자에서 sourced, 검토해서 그리고 적응시켜 입니다.
이 근원에 추가 정보를 위해, Zeta 계기를 방문하십시오.