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Indice
Introduzione Ispezione della Lastra Di Silicio Ispezione della Barriera Prua del Wafer Altezza di Punto Rugosità Di Superficie Ispezione del Collegare del Diamante Specifiche Ottiche Il Sistema Zeta-200 Circa gli Strumenti della Zeta Introduzione
È importante che i substrati di silicio per le applicazioni della pila solare soddisfanno le richieste tecniche precise. Sull'aggiunta della tessitura di superficie, il risparmio di temi della luminoso riunione è migliorato, ma per le superfici altamente strutturate, lo scattering leggero si presenta ed il risparmio di temi è diminuito significativamente. I collegare Di Alta Qualità del diamante sono richiesti hanno veduto i wafer ed ottengono i prodotti finiti di alta qualità.
Il Sistema della Metrologia Automatizzato Zeta-200 3D permette il controllo di qualità dei beni critici, che sono:
- Rugosità del Substrato ai punti multipli, da altamente ruvido altamente da lisciare.
- La Periodicità e l'altezza di hanno veduto i segni.
- Le crepe ed altra della Barriera diserta.
- Prua del Wafer.
- L'Altezza e la densità delle funzionalità del diamante sopra hanno veduto i collegare.
Ispezione della Lastra Di Silicio
I vari tipi di ispezioni della lastra di silicio sono:
- Ispezione della Barriera.
- Prua del Wafer.
- Altezza di Punto.
- Rugosità Di Superficie.
Ispezione della Barriera
Figura 1 mostra ad una Zeta l'immagine bidimensionale della barriera del wafer. Gli indicatori di Lunghezza sono verticalmente ed orizzontalmente µm 37 e 15, rispettivamente.
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Figura 1. immagine della Zeta 2D di una barriera del wafer.
Prua del Wafer
Figura 2 mostra la forma dei 5 dentro. wafer basato sulle misure bidimensionali o tridimensionali a 25 siti.
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Figura 2. Determinazione della forma di un 5" wafer basato sulle 2D misure un 3D a 25 siti.
Altezza di Punto
Zeta 2D ed immagini 3D di un substrato ricevuto (Fig. manifestazione di 3) ha veduto i segni. La distanza fra i cursori è µm 1215, la differenza di altezza fra i cursori è µm 3,4 e la profondità di singola scanalatura è µm 2,3 - 3,0.
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Figura 3. Zeta 2D (cima) ed immagini (inferiori) 3D di un substrato di riferimento.
Rugosità Di Superficie
I risultati ottenuti dall'analisi della rugosità di superficie sono che il Ra è 0,95 µm nel totale o 0,57 µm con la correzione di ondosità (Fig. 4).
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Figura 4. Risultati di analisi di rugosità sul wafer misurato.
Ispezione del Collegare del Diamante
Figura 5 mostra l'immagine della Zeta 3D di nuovo collegare del diamante e l'analisi automatizzata delle particelle del diamante. Ogni diamante nel campo visivo è misurato per area, volume ed altezza.
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Figura 5. immagine della Zeta 3D di nuovo collegare del diamante ed analisi automatizzata delle particelle del diamante.
Specifiche Ottiche
Le specifiche ottiche del sistema della Zeta 200 sono indicate nella tabella qui sotto:
Specifiche Ottiche della Tabella 1. del sistema Zeta-200.
| Specifiche Ottiche |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Ricerca di Z (μm) | 5,90 | 1,50 | 0,50 | 0,10 | 0,07 |
| N.A. | 0,15 | 0,30 | 0,45 | 0,80 | 0,90 |
| DI X-Y ricerca (μm) | 2,20 | 1,10 | 0,75 | 0,42 | 0,40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| ≤ 1,5% (1σ/mean) di Ripetibilità di ± 2,5% di Accuratezza |
Il Sistema Zeta-200
Il Sistema di Misura Automatizzato 3D della Zeta 200 permette alla rappresentazione di vero colore delle superfici complesse in meno di un minuto per sito.
Il Software della Zeta 3D studia le immagini bidimensionali o tridimensionali per i seguenti parametri:
- Altezza di Punto.
- Rugosità Di Superficie.
- Feature size, diametro, area e volume.
- analisi della Multi-Superficie per le funzionalità trasparenti.
- visualizzazione della superficie 3D.
- Statistiche.
Le applicazioni generali dello Zeta-200 sono:
- misure del Multi-Sito con le statistiche.
- a definizioni Basate a ricetta di misura.
- Esportazione Automatizzata di immagine e di dati.
Le funzionalità dello Zeta-200 includono quanto segue:
- sorgente luminosa bianca di Alto-Luminosità LED.
- Fase DI X-Y con un viaggio di 200 x 200 millimetri.
- un viaggio verticale totale di 30 millimetri.
- Le configurazioni Multiple di FOV sono disponibili.
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Figura 6. serie del sistema Zeta-200.
Il sistema include un esboscatore universale di Duo di Intel Core2 con il 3Gb di RAM, un disco da 320 GB ed il video LCD a grande schermo.
Circa gli Strumenti della Zeta
Gli Strumenti della Zeta è un fornitore principale dei sistemi di misura della microstruttura e della superficie di precisione che permettono ai produttori della verde-tecnologia e dei prodotti biomedici di migliorare sostanzialmente i rendimenti ed il controllo di qualità. Le soluzioni della metrologia avanzate Zeta forniscono il vantaggio diretto alla produzione di alto-luminosità LED, delle pile solari, del micro-fluidics/della biotecnologia e delle memorie magnetiche. La tecnologia brevettata di Z-Dot™ permette ai produttori a rapidamente ed esattamente realizza la misura 3D delle funzionalità del micron-disgaggio di queste applicazioni, posizionanti la Zeta come fornitore strategico su queste industrie a crescita rapida.
Le soluzioni della Metrologia dagli Strumenti della Zeta sono adatte idealmente ad indirizzare le sfide di misura confrontate da queste industrie:
- LED.
- Biotecnologia.
- Solare.
- Archiviazione di dati.
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Questi informazioni sono state originarie, esaminate ed adattate dai materiali forniti dagli Strumenti della Zeta.
Per ulteriori informazioni su questa sorgente, visualizzi prego gli Strumenti della Zeta.