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简介 硅片检验 边缘检验 薄酥饼弓 步骤高度 地面粗糙度 金刚石电汇检验 光学说明 Zeta200 系统 关于 Zeta 仪器 简介
是重要的太阳能电池应用的硅体符合准确的技术需要。 在添加表面纹理，改进这张轻会集的效率，但是为高度织地不很细表面，光散射发生，并且显著减少效率。 需要优质金刚石电汇看见了薄酥饼并且获得优质完成品。
Zeta200 自动化的 3D 计量学系统允许临界性质质量管理，是：
- 在多个步骤的基体坎坷，从高度使光滑的高度粗砺。
- 周期和高度看到了标记。
- 边缘镇压和其他缺陷。
- 薄酥饼弓。
- 高度和密度金刚石功能看见了电汇。
硅片检验
硅片检验的多种类型是：
边缘检验
图 1 显示 Zeta 薄酥饼边缘的二维图象。 长度标记垂直和水平地分别为 37 和 15 µm。
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图 1. Zeta 第 2 个图象薄酥饼边缘。
薄酥饼弓
图 2 显示形状 5 寸。 在二维或三维评定基础上的薄酥饼在 25 个站点。
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形状的图 2. 确定一 5" 在第 2 个 3D 评定基础上的薄酥饼在 25 个站点。
步骤高度
一个接踵而来的基体的 Zeta 第 2 和 3D 图象 (图 3) 显示看到了标记。 游标之间的距离是 1215 µm，游标之间的高度区别是 3.4 µm，并且一条唯一凹线的深度是 2.3 到 3.0 µm。
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图 3. Zeta 第 2 (顶层) 和 3D (参考基体的底部) 图象。
地面粗糙度
从地面粗糙度分析得到的结果是镭是 0.95 µm 总共或与波状更正 (图 4) 的 0.57 µm。
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图 4. 坎坷分析结果在被评定的薄酥饼。
金刚石电汇检验
图 5 显示一个新的金刚石电汇的 Zeta 3D 图象和对金刚石微粒的自动分析。 在视野的每金刚石为区、数量和高度被评定。
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图 5. 一个新的金刚石电汇的 Zeta 3D 图象和对金刚石微粒的自动分析。
光学说明
Zeta 200 系统的光学说明在下面这张表里显示：
Zeta200 系统的表 1. 光学说明。
| 光学说明 |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Z res (μm) | 5.90 | 1.50 | 0.50 | 0.10 | 0.07 |
| N.A. | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
| X - Y 的 res (μm) | 2.20 | 1.10 | 0.75 | 0.42 | 0.40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| 准确性 ± 2.5% 反复性≤ 1.5% (1σ/mean) |
Zeta200 系统
Zeta 200 自动化的 3D 测量系统在少于一分钟之内启用复杂表面真彩色想象每个站点。
Zeta 3D 软件学习下列参数的二维或三维图象：
- 步骤高度。
- 地面粗糙度。
- 功能大小、直径、区和数量。
- 透明功能的多表面分析。
- 3D 表面形象化。
- 统计数据。
Zeta的通用应用 200 是：
- 与统计数据的多位置的评定。
- 基于处方的评定定义。
- 自动化的数据和图象导出。
Zeta的功能 200 包括以下：
- 高亮光空白 LED 光源。
- 与 200 x 200 mm 旅行的 X - Y 的阶段。
- 30 mm 全面垂直的旅行。
- 多个 FOV 配置是可用的。
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图 6. Zeta200 系统串联。
这个系统包括与 3GB RAM， 320 GB 盘和宽银幕 LCD 监控程序的 Intel Core2 二重奏处理器。
关于 Zeta 仪器
Zeta 仪器是精确度微结构和表面使绿色技术和生物医学的产品制造商充分地改进产量和质量管理的测量系统一位主导的提供者。 Zeta 提前的计量学解决方法提供直接利益给高亮光 LEDs，太阳能电池、微型流体力学/生物工艺学和磁存储器媒体的生产。 给予专利的 Z-Dot™技术启用制造商对迅速和准确地进行 3D 这些应用微米缩放比例功能的评定，确定 Zeta 作为一个有战略意义的供应商对这些高效成长行业。
从 Zeta 仪器的计量学解决方法理想地说配合解决这些行业面对的评定挑战：
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此信息是来源，复核和适应从 Zeta 仪器提供的材料。
关于此来源的更多信息，请参观 Zeta 仪器。