SmartProbe fra Scientific Systems er verdens førende kommercielle Langmuir-sonde-systemet og bruges til at måle en bred vifte af plasma parametre såsom plasma-tæthed, ensartethed og elektron temperatur distribution. Betragtes som den standard instrument for plasma forskere, som den gør dem i stand til helt at forstå kompleksiteten og karakteristika for et plasma, og hvordan de relaterer til plasma, de forsøger at udvikle.
Funktioner i SmartProbe
- Komplet Karakterisering af Plasma parametre i DC, RF, mikroovn og Pulserende Plasma
- Automatiseret Drive System for fysisk Målinger
- Bredbånd RF Erstatning
- SmartSoftTM Software
- Boxcar Mode for Time Løst Målinger med Intern Delay Generator
- RS232 kommunikation
- Ekstern udløser sats for mere end 100 kHz
- Referenceelektrode
Fordele ved SmartProbeTM
- Facitiated optimering af plasma kilder / plasma processer
- Optimering af plasma kilde ensartethed
- Brugervenlig software kompatibelt med alle MS Windows-operativsystemet
- Ekstremt transportabel, fungerer via laptop
- Reduktion i plasma proces udviklingstid
- Kompatibel med flere eller variabel frekvens plasma-systemer