SmartProbe fra Scientific Systems er verdens ledende kommersielle Langmuir probe system og brukes til å måle et bredt spekter av plasma parametere som plasma tetthet, ensartethet og elektron temperatur distribusjon. Regnes som standard instrument for plasma forskere gjør det mulig for dem å helt forstå kompleksiteten og egenskapene til en plasma og hvordan de forholder seg til plasma de prøver å utvikle.
Funksjoner i SmartProbe
- Komplett Karakterisering av Plasma Parametere i DC, RF, mikrobølgeovn og Pulsed Plasmas
- Automatisert Drive System for Spatial målinger
- Bredbånd RF Kompensasjon
- SmartSoftTM Software
- Boxcar Mode for Time Resolved Målinger med Internal Delay Generator
- RS232 kommunikasjon
- Ekstern trigger rate for større enn 100 kHz
- Referanse elektrode
Fordeler med SmartProbeTM
- Facitiated optimalisering av plasma kilder / plasma prosesser
- Optimalisering av plasma kilde ensartethet
- Brukervennlig programvare kompatibel med alle MS Windows operativsystem
- Ekstremt bærbar, fungerer via laptop
- Reduksjon i plasma prosessutvikling tid
- Kompatibel med flere eller variabel frekvens plasma systemer