科学系统的SmartProbe是世界领先的商业朗缪尔探针系统，是用来衡量一个等离子体参数，如等离子体密度，均匀性和电子温度分布广泛。视为标准的仪器，它使他们能够完全了解的复杂性和等离子的特点和它们涉及到的血浆，他们正试图开发的等离子研究人员。
对SmartProbe的特点
- 在直流，射频，微波和脉冲等离子体等离子体参数的完整的特征
- 空间测量的自动化驱动系统
- 宽带RF补偿
- SmartSoftTM软件
- 棚车时间模式解决了测量内部延时发生器
- RS232通讯
- 外部触发率大于100千赫
- 参比电极
对SmartProbeTM的好处
- Facitiated优化离子源/等离子工艺
- 等离子体源均匀的优化
- 用户友好的任何MS Windows操作系统兼容的软件
- 极其便携，通过笔记本电脑
- 在等离子工艺开发时间减少
- 兼容多个或可变频率的等离子系统