Le Frontier Centar est une plateforme de polissage contrôlé par ordinateur qui intègre microscope, caméra CCD et traitement d'image pour automatiser entièrement la préparation des échantillons, ré x-section (SEM, SCM) et de l'amincissement en vue, ou x-section (TEM / STEM) des applications.
Principales caractéristiques de la plateforme de polissage Frontier Centar contrôlés par l'ordinateur sont:
- Site spécifiques coupes transversales - SEM / SMC / X-Ray
- Dilution à toute épaisseur désirée - TEM / STEM
- Frontside / déstratification - couche par couche - SEM / électrique
- Backside éclaircie à toute épaisseur désirée
- Conique peu profonde - contrôle de l'angle 3D (MRS)
Le résultat - Haut débit, haute répétabilité et taux de réussite élevé par n'importe quel utilisateur, malgré le défi technique.
Site spécifiques coupes transversales - SEM / SMC / X-Ray
- Précision 0,1 um
- Pas de taille minimum (<1mm)
- Tout type d'échantillon (die, emballage)
- Tout type de matériau (céramique, organique, Si, GaAs, Polyamide, Cu)
- L'utilisation de traitement d'image brevetée SMPT
Dilution à toute épaisseur désirée - TEM / STEM
- En utilisant des algorithmes de pointe pour avantage
- Pré-FIB, Pré-Ion Mill, Wedge - 3mm
- Vue en plan ou X-section
- Échantillons de lots - jusqu'à 12
Frontside / déstratification - couche par couche - SEM / électrique
- Sauvegarde automatique d'image POI
- Assemblage automatique
- Incrémente aussi court que 0.2sec
- Delayer bords et des coins
- Aucune taille minimale de l'échantillon
Backside éclaircie à toute épaisseur désirée
- Processus automatique en sélectionnant cibles d'épaisseur
- PEM de préparation
- Backside SIMS prep - <2-um
Conique peu profonde - contrôle de l'angle 3D (MRS)
- EAC - Précision angle exact - 0.003deg