De Centar Frontier is een computer-gestuurde polijsten platform dat microscoop, CCD-camera en beeldverwerking integreert volledig te automatiseren monstervoorbereiding, re x-sectie (SEM, SCM) en dunner in het zicht of x-sectie (TEM / STEM) applicaties.
Belangrijkste kenmerken van de Centar Frontier computer-gestuurde polijsten platform zijn onder andere:
- Locatie specifieke cross-snijden - SEM / SCM / X-Ray
- Verdunnen naar elke gewenste dikte - TEM / STEM
- Voorkant / verplatting - laag voor laag - SEM / elektrische
- Achterzijde uitdunnen tot elke gewenste dikte
- Ondiepe schuine - 3D hoek control (SRM)
De uitkomst - Hoge throughput, hoge reproduceerbaarheid en hoge kans op succes door een gebruiker, ondanks de technische uitdaging.
Locatie specifieke cross-snijden - SEM / SCM / X-Ray
- 0.1μm nauwkeurigheid
- Er is geen minimum grootte (<1mm)
- Elk type monster (sterven, pakket)
- Elk type materiaal (keramiek, organisch, Si, GaAs, Polyamide, Cu)
- Met behulp van SMTP gepatenteerde beeldverwerking
Verdunnen naar elke gewenste dikte - TEM / STEM
- Met behulp van rand tot rand algoritmen
- Pre-FIB, Pre-Ion Mill, Wedge - 3mm
- Bovenaanzicht of X-sectie
- Batch monsters - tot 12
Voorkant / verplatting - laag voor laag - SEM / elektrische
- Automatische POI afbeelding opslaan
- Automatische naaien
- Stappen zo kort 0.2sec
- Delayer randen en hoeken
- Geen minimum steekproefgrootte
Achterzijde uitdunnen tot elke gewenste dikte
- Automatisch proces door het selecteren van de dikte doel
- PEM prep
- Achterzijde SIMS prep - <2-um
Ondiepe schuine - 3D hoek control (SRM)
- EAC - Exact hoeknauwkeurigheid - 0.003deg