Centar Frontier er en datastyrt polering plattform som integrerer mikroskop, CCD-kamera og bildebehandling til fullt automatisert prøveopparbeidelse, re x-seksjonen (SEM, SCM) og tynning i vanlig visning eller x-seksjonen (TEM / STEM) applikasjoner.
Viktige funksjoner på Centar Frontier datastyrte polering plattform inkluderer:
- Stedsspesifikke cross-seksjonering - SEM / SCM / X-Ray
- Tynning til ønsket tykkelse - TEM / STEM
- Frontside / delayering - lag på lag - SEM / elektriske
- Backside tynning til ønsket tykkelse
- Shallow bevel - 3D vinkel kontroll (SRM)
Utfallet - Høy gjennomstrømming, høy repeterbarhet og høy suksessrate av enhver bruker til tross for tekniske utfordringen.
Stedsspesifikke cross-seksjonering - SEM / SCM / X-Ray
- 0.1μm nøyaktighet
- Ingen minimum størrelse (<1mm)
- Enhver type prøve (dør, pakke)
- Enhver type materiale (keramikk, organisk, Si, GaAs, Polyamid, Cu)
- Bruk SMPT patentert bildebehandling
Tynning til ønsket tykkelse - TEM / STEM
- Bruk kant til kant algoritmer
- Pre-FIB, Pre-Ion Mill, Kile - 3mm
- Plan vise eller X-seksjonen
- Batch prøver - opp til 12
Frontside / delayering - lag på lag - SEM / elektriske
- Automatisk POI image sparer
- Automatisk søm
- Intervaller så kort som 0.2sec
- Delayer kanter og hjørner
- Ingen minimum utvalgsstørrelse
Backside tynning til ønsket tykkelse
- Automatisk prosess ved å velge tykkelse target
- PEM prep
- Backside SIMS prep - <2 mikrometer
Shallow bevel - 3D vinkel kontroll (SRM)
- EAC - Exact Angle Nøyaktighet - 0.003deg