SE 500adv는 레이저 ellipsometer, 필름 간격 조사 FTPadv 또는 Ellipsometry와 반사율 결합한 (CER) ellipsometer로 운영할 수 있습니다. 그 결과로, 그것은 표준 레이저 ellipsometers에 의해 결코 도달된 최대 유연성을 제안하지 않습니다.
레이저 ellipsometer로 운영해, 단 하나와 다수 각 측량은 632.8 nm에 1개의 파장을 사용하여 3개의 까지 층의 광학적인 매개변수 그리고 필름 간격을 결정하기 위하여 실행될 수 있습니다.
필름 간격 조사 FTPadv로 운영해, 투명한 약하게 흡수 층의 간격은 정상적인 부각의 밑에 측정됩니다. SENTECH 진보된 소프트웨어 FTPadv 전문가는 다수 층의 측량을 허용합니다.
CER ellipsometer로 운영해, 투명한 층을 위한 주기적인 간격 기간은 즉시 결정됩니다. 첫번째 주기적인 간격 순서에 있는 R.i.의 정확도는 강하게 증가됩니다 (i.e 얇은 층/SENTECH 특허를 위해). Cauchy 계수는 투명한 층을 위해 결의가 굳을 수 있습니다.
특징
Sentech SE 500adv 레이저 ellipsometer의 주요 특징은 다음을 포함합니다:
- 결합된 ellipsometry 및 반사율
- 투명한 필름을 위한 층 간격 결심에 있는 애매함의 제거
- 25 µm까지 간격 측량의 연장
- 실사회 견본에 ellipsometry의 가장 쉬운 적용