SE 500adv 可以被管理作为激光 ellipsometer,胶片厚度探针 FTPadv 或作为一联合的 Ellipsometry 和反射计 (CER) ellipsometer。 结果,它提供标准激光 ellipsometers 从未到达的最大的灵活性。
经营当激光 ellipsometer,唯一和多次角度测量可以进行确定三层的光学参量和胶片厚度使用一个波长在 632.8 毫微米。
经营作为胶片厚度探针 FTPadv,透明或微弱地吸收的层的厚度被测量在正常发生下。 SENTECH 先进的软件 FTPadv 专家考虑到多层的测量。
经营当 CER ellipsometer,立即确定透明层数的循环厚度期间。 按第一循环厚度顺序强烈增加 R.i. 的准确性 (即为薄层/SENTECH 专利)。 Cauchy 系数可以是坚定的为透明层数。
特点
Sentech SE 500adv 激光 ellipsometer 的主要特点包括:
- 联合的 ellipsometry 和反射计
- 二义性的排除在层数厚度决心的透明影片的
- 厚度测量引伸由 25 µm 决定的
- 最容易适用 ellipsometry 于真实世界的样品