SE 500adv 可以被管理作為激光 ellipsometer,膠片厚度探測 FTPadv 或作為一聯合的 Ellipsometry 和反射計 (CER) ellipsometer。 結果,它提供標準激光 ellipsometers 從未到達的最大的靈活性。
運行作為激光 ellipsometer,唯一和多個角度評定可以進行確定三層的光學參數和膠片厚度使用一個波長在 632.8 毫微米。
運行作為膠片厚度探測 FTPadv,透明或弱吸收的層的厚度被評定在正常入射下。 SENTECH 先進的軟件 FTPadv 專家允許多個層的評定。
運行作為 CER ellipsometer,立刻確定透明層的循環厚度期間。 按第一循環厚度順序嚴格增加 R.i. 的準確性 (即為薄層/SENTECH 專利)。 Cauchy 系數可以是確定的為透明層。
功能
Sentech SE 500adv 激光 ellipsometer 的主要功能包括:
- 聯合的 ellipsometry 和反射計
- 二義性的清除在層厚度確定的透明影片的
- 厚度評定擴展名至 25 µm 的
- 最容易適用 ellipsometry 於真實世界的範例