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SOPRA GES5E pour R&D Ellipsometer Spectroscopique

Le GES5E est l'instrument de noyau de SOPRA pour des applications de R&D. GES5E intègre des designs opto-mécaniques prouvés avancés et bons accouplés à l'électronique de haute performance, des Spectromètres et des spectrographes et logiciel convivial de WindowsTm. GES5E est le modèle le plus récent de 5 rétablissements des ellipsometers spectroscopiques développés par SOPRA.

Avec fini que 20 ans d'expérience en technologie Spectroscopique d'Ellipsometry, le SOPRA est largement identifié aujourd'hui en tant que lecteur principal sur ce marché aujourd'hui.

Par conséquent SOPRA Ellipsometers Spectroscopique sont actuel utilisés comme outils de ReferenceTM pour des mesures de Film Mince dans la R&D et l'Industrie.

Le seul avantage de la Plate-forme de GES5E est que le mode De haute résolution de mesure et le mode Rapide de mesure peuvent coexister sur la même plate-forme. Ceci permet la qualification matérielle de développement mais également le contrôle du développement de processus par des mesures courantes Rapides de mappage.

Last Update: 3. February 2012 18:04

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