GES5E 是为 R&D 应用的 SOPRA 核心仪器。 GES5E 集成先进和好的证明的 opto 机械设计被耦合对高性能电子、分光仪和频谱图和用户友好 WindowsTm 软件。 GES5E 是分光镜 ellipsometers 的 5 生成最近设计 SOPRA 开发的。
超出比 20 年经验在分光镜 Ellipsometry 技术, SOPRA 在此市场上今天今天广泛被认可作为一个头等球员。
结果 SOPRA 分光镜 Ellipsometers 当前使用作为为薄膜评定的 ReferenceTM 工具在 R&D 和行业。
GES5E 平台的唯一好处是高分辨率评定模式和快速评定模式在同一个平台可能共存。 这由映射评定的快速程序允许物质发展鉴定,而且工艺过程开发控制。