PANalytical 的 X'Pert 讚成材料研究衍射計是這個最靈活的系統可用為 X 光衍射研究為:
- 高級材料科學和納米技術
- 在半導體工藝過程開發的 metrologic 描述特性
它可能處理各種各樣的應用,并且特別適用於薄膜分析應用例如:
- 晃動的曲線分析和倒易空間映射
- 反射計和薄膜階段分析
- 剩餘應力和紋理分析
並且 X'Pert 讚成 MRD 系統的證明的標準版本,一定數量的特殊版本存在:
- 評定從是垂直的對範例表面的晶格面的衍射的飛機衍射
- 一個延長的版本允許線型掛接 X-射線的鏡子和高分辨率的單色儀,增加入射線的強度
- 半導體、薄膜和高級材料行業的高分辨率 XRD 分析需求
- 為薄膜工藝過程開發的一個先進的工具