Das genaueste Instrument für Dünnfilmkennzeichnung
Das GES5E ist das Kerninstrument SEMILAB SOPRA für R&D-Anwendungen. GES5E integriert die modernen und wohlen nachgewiesenen Opto-mechanischen Entwürfe, die zur Hochleistungselektronik, Spektrometer und Spektrographe und benutzerfreundliche Windows-Software verbunden werden. GES5E ist das neueste Modell von 5 Generationen von den spektralanalytischen ellipsometers, die durch SEMILAB SOPRA entwickelt werden.
Der einzigartige Vorteil der GES5E-Plattform ist, dass Maßmodus der Hohen Auflösung und Schneller Maßmodus auf der gleichen Plattform koexistieren können. Dieses erlaubt materielle Entwicklungsqualifikation aber auch Verfahrensentwicklungssteuerung durch das Schnelle Programm, das Maße aufzeichnet.
Optische Plattform GES5E erlaubt verschiedenen Maßmodus von Standard-Ellipsometry generalisiertes Ellipsometry, das photometrische Maße durchläuft (im Getriebe und in der Reflexion), Scatterometry, Lumineszenzmaße. Alle Maße werden automatisch als Funktion gemacht: Wellenlänge, Einfallswinkel, Polarisationszustand und Zeit. Standardspektralbereich ist 230-900nm und kann in DUV- und NIR-Regionen verlängert werden, indem er die ausreichenden Wahlen vorwählt (beziehen Sie bitte sich auf SE-Wahlen). Material fortgeschrittene Kennzeichnung kann auf dem GES5E auch laufen gelassen werden, indem man Klimakammer, Heizplatte, flüssige Zellen und Cryostats verbindet. Die letzte Entwicklung auf diesem Gebiet ist die Wahl EPA (der Ellipsometric Luftdurchlässigkeitsprüfer Atmosphärisch), Porositätsmaß von Dünnfilmen erlaubend.
GES5E und seine zahlreichen Wahlen darf das höchstentwickelte heute bedecken die R&D-Anwendungen in der Materialkunde.
GES5E ist in den Forschungslabors und in Universitäten weit verbreitet, die auf den folgenden Gebieten arbeiten: Halbleiter, Optik, Optische Telekommunikation, Flachbildschirmanzeigen, Daten-Speicher, Dünne Metalle, Chemie, Biologie, organische Anwendungen ETC…