Het nauwkeurigste instrument voor de karakterisering van Dunne Films
GES5E is het SEMILAB SOPRA kerninstrument voor de toepassingen van R&D. GES5E integreert geavanceerde en goed bewezen opto-mechanische die ontwerpen aan hoge prestatieselektronika, Spectrometers en spectrografen en de gebruikersvriendelijke software van Vensters worden gekoppeld. GES5E is het meest recente model van 5 generaties van spectroscopische die ellipsometers door SEMILAB SOPRA wordt ontwikkeld.
Het unieke voordeel van het Platform GES5E is dat de de metingswijze van de Hoge Resolutie en de Snelle metingswijze op het zelfde platform kunnen coëxisteren. Dit staat de materiële ontwikkelingskwalificatie maar ook controle van de procesontwikkeling door Snelle routineafbeeldingsmetingen toe.
GES5E het Optische Platform staat diverse metingswijze die van StandaardEllipsometry aan algemene Ellipsometry toe door photometric metingen (in Transmissie en Bezinning) gaan, Scatterometry, luminescentiemetingen. Alle metingen worden gemaakt automatisch als functie van: golflengte, invalshoek, polarisatiestaat en tijd. De Standaard spectrale waaier is 230900nm, en kan in zowel gebieden worden uitgebreid DUV als NIR door de adequate opties (gelieve te verwijzen naar de Opties van SE) te selecteren. Kan de Materiaal geavanceerde karakterisering ook op GES5E worden in werking gesteld door milieukamer, het verwarmen plaat, vloeibare cellen en Cryostaten te koppelen. De laatste ontwikkeling op dat gebied is de (Ellipsometrische Atmosferische Porosimeter) optie EPA die poreusheidsmeting van dunne films toestaan.
GES5E en zijn talrijke opties staat toe om vandaag het meest geavanceerd de toepassingen van R&D in materiële wetenschap te behandelen.
GES5E wordt wijd op de Laboratoria en de Universiteiten die van het Onderzoek gebruikt op de volgende gebieden werken: Halfgeleiders, Optica, Optische Telecommunicaties, de Vertoningen van het Vlakke Comité, de Opslag van Gegevens, Dunne Metalen, Chemie, Biologie, organische toepassingen etc…