O instrumento mais preciso para a caracterização de Filmes Finos
O GES5E é o SEMILAB instrumento central SOPRA para R & D aplicações. GES5E integra avançada e comprovada opto-mecânico projetos juntamente com a eletrônica de alta performance, espectrômetros e espectrógrafos e software de usuário do Windows amigável. GES5E é o modelo mais recente de 5 gerações de ellipsometers espectroscópicas desenvolvidos por SEMILAB SOPRA.
A única vantagem do GES5E Platform é que o modo de medição de alta resolução e modo de medição rápida podem coexistir na mesma plataforma. Isto permite que a qualificação de material de desenvolvimento, mas também controlar o desenvolvimento do processo de mapeamento por meio de medições rápidas de rotina.
GES5E Plataforma Óptica permite modo de medição de vários Elipsometria Padrão para Elipsometria generalizada passando por medidas fotométricas (em Transmissão e Reflexão), Scatterometry, medições de luminescência. Todas as medições são feitas automaticamente em função do comprimento de onda, ângulo de incidência estado de polarização, e no tempo. Faixa espectral padrão é 230-900nm, e pode ser estendido em ambas as regiões NIR DUV e selecionando as opções adequadas (consulte Opções SE). Caracterização de materiais avançados também podem ser executados no GES5E pelo acoplamento câmara ambiental, o aquecimento da placa, líquido e células criostatos. O último desenvolvimento nesse campo é a opção EPA (Ellipsometric porosímetro atmosférica), permitindo a medição da porosidade de filmes finos.
GES5E e suas inúmeras opções permite cobrir os mais avançados do R & D aplicações em ciência dos materiais hoje.
GES5E é amplamente utilizado em laboratórios de pesquisa e universidades que trabalham nos seguintes campos: Semicondutores, Óptica, Telecomunicações Optical, monitores de tela plana, armazenamento de dados, metais finos, Química, Biologia, etc aplicações orgânicos ...