EP5 , EP12 og EP20 verktøy fra Semilab er basert på Ellipsometric porosimetry (EP) med ulike grad av automatisering og wafer størrelse evner. Dette er en unik teknologi for å karakterisere CVD og spin belagt porøs ultra lav K. EP måler endring av de optiske egenskapene og tykkelsen på materialene under adsorpsjon og desorpsjon av enten et organisk løsemiddel eller vann ved redusert trykk. Analysen gir porøsitet av Low K, pore størrelse distribusjon av både mikroporøse og mesoporous, kumulativ areal, pore tilkoblinger, Young modulus, tykkelse og brytningsindeks.
EP kvalifiserer membran av både mønster og teppe wafere. Verktøyet registrerer diffusjon av løsemiddelet gjennom membran. Spredningen av løsemiddel fører til en endring i brytningsindeks for laget at Spektroskopiske Ellipsometer lett oppdager.
EP gir strukturell informasjon og kvalifiserer hvordan materialet kan integreres i den doble damascene prosessen. EP med en plasma kilde lar studere plasma motstand og modifisering av materialer i aktiv plasma og plasma rengjøring av ulike overflater. IMEC har også utviklet nye applikasjoner som pore forsegling tester og Youngs modul utvinning av lav-k dielektrika med EP teknikk.
EP er egnet til å karakterisere andre materialer som: membraner, brenselceller, sensorer, Katalyse overflater, Nano-struktur og Nano-kompositt materialer, Hybrid organisk og uorganisk grensesnitt.