EP5、 EP12 和 EP20 從 Semilab 的工具在 Ellipsometric porosimetry 基礎上 (EP)有多種程度自動化和薄酥餅範圍功能。 這是分析 CVD 的唯一技術，并且空轉上漆的多孔極端底的 K. EP 在有機溶液或水的吸附和解吸附作用時評定材料的光學性能和厚度的更改在訂正氣壓。 這個分析產生低 K 的多孔性，多微孔和 mesoporous，漸增表面、毛孔互相連接、新模數、厚度和 R.i. 的毛孔大小分佈。
EP 合格被仿造的和一攬子薄酥餅密封的層。 工具通過這塊密封的層檢測這種溶劑的擴散。 這種溶劑的擴散導致在分光鏡 Ellipsometer 容易地檢測層的 R.i. 的上一個變化。
EP 提供結構信息并且合格材料如何在這個雙重波狀花紋的進程中可以集成。 與等離子來源的 EP 准許學習等離子材料和不同的表面等離子清潔的阻力和修改在有效的等離子的。 使用 EP 技術， IMEC 也開發了新穎的應用例如毛孔海豹捕獵測試和低的 k 電介質的年輕的模數提取。
EP 配合分析其他材料像： 膜、燃料電池、傳感器，催化表面、納諾結構和納諾綜合材料，混合有機 & 無機接口。