Semilab AMS 3300 使用专属 SurfaceWave™技术测量薄膜金属和电介质厚度和均一。 它是为铜,但是强有力的产品修造的明确地低成本,低 k 材料。
3300 交付高生产量、金属线列阵厚度和均一的没有接触,非破坏性的所有铜/低的 k 过程的测量和垫。 3300 为最大可测量性是有能力在难以置信的速度上和准确性在 65 毫微米结和低和最便宜在它的类的归属。
SW3300 提议:
- 混杂的 200/300 或 150/200 mm 薄酥饼的计量学
- 瓶沟槽、平直的沟槽、电介质层数厚度和构成的优越测量
- 在 110 毫微米结的以下横征暴敛的测量
特点:
- 有终身了不起的比 1 年的健壮,固体激光
- 精确和反复性的样式测量
- 任何没有接触的系统的最低的归属费用在市场上的
- 易使用
- 可靠性证实的记录
- Semilab AMS 质量和耐久性
半 S2/S8 和铈服从的联邦机关 209E 类 1 迷你环境 (ISO 类 2) 300mm 宝石自动化标准。