Das TurboDisc® K465i™ GaN MOCVD-System ist der neueste Eintritt in Veecos K-Reihen Plattform, die Produktion-geprüft und hohe Produktivität und für Großserienfabs produktion des HB LED rund um den Globus zur Verfügung stellt wird. Das K465i erzielt bis 90% Ertrag (Behälter 5nm) wegen seiner überlegenen Einheitlichkeit und ausgezeichneten Lauf-zu-geführten Wiederholbarkeit. K465i bietet auch die höchste Produktivität der Industrie wegen seiner vollen Automatisierung und verkürzten Wiederaufnahmezeitraums nach Wartung an.
Hauptmerkmale:
- Kombiniert die höchste Haupt-Leistungsfähigkeit der Industrie mit der höchsten Produktivität und den beste in klasseerträgen.
- Basiert auf Produktion-erwiesener, hoher Plattform des Durchsatzes K465
- Enthält neue Einheitliche FlowFlange®-Technologie für am höchsten innen Oblateneinheitlichkeit und entscheidende Prozesswiederholbarkeit
- Vereinfachter Entwurf stellt Leichtigkeit des Abstimmens für schnelle Produktionsqualifikation und der schnellen Wiederaufnahme nach Wartung zur Verfügung
- Niedrige Wartung TurboDisc®-Technologie ermöglicht höchster Verfügbarkeit des Systems
- Am preiswertesten vom Besitz für maximale Rentabilität