Para TurboDisc K465i ® ™ Sistem GaN MOCVD adalah entri terbaru ke K-Series platform yang Veeco, yang adalah produksi-terbukti dan memberikan produktivitas tinggi dan untuk HB LED volume tinggi Beatles produksi di seluruh dunia. Para K465i mencapai hingga 90% hasil (5nm bin) karena keseragaman unggul dan sangat baik run-to-run pengulangan. K465i juga menawarkan produktivitas industri tertinggi karena otomatisasi penuh dan memperpendek periode pemulihan setelah perawatan.
Fitur Utama:
- Menggabungkan efisiensi modal tertinggi industri dengan produktivitas tertinggi dan terbaik di kelas hasil.
- Berdasarkan produksi terbukti, platform tinggi K465 throughput yang
- Seragam baru menggabungkan FlowFlange ® teknologi untuk tertinggi dalam keseragaman wafer dan pengulangan proses akhir
- Desain yang disederhanakan memberikan kemudahan tuning untuk kualifikasi produksi cepat dan pemulihan cepat setelah perawatan
- Pemeliharaan TurboDisc Rendah ® teknologi memungkinkan ketersediaan sistem tertinggi
- Biaya terendah kepemilikan untuk keuntungan maksimal