Das FilmTek™ 2000SE ist ein Hochleistung spektralanalytisches ellipsometer für Dünnfilmkennzeichnung diese Maßnahmen vom tiefen UV zu NIR (190-1700nm). Basiert auf einer rotierenden Flatterdämpferauslegung, kombiniert das spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ 2000SE spektralanalytisches ellipsometry mit mehrfachem Winkel Reflectometry, um es zu machen ideal entsprochen für das Messen der Stärke und der optischen Konstanten (N u. k) von sehr Dünnfilmen. Das spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ 3000SE fügt Transmissionsmessungsfähigkeit zusätzlich zum spektralanalytischen ellipsometry und DUV-Reflectometry hinzu. Das spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ 2000SE verwendet materielle Formungssoftware SCIS, um ein erschwingliches und zuverlässiges Dünnfilmmaßhilfsmittel für das simultane Maß der Dicke, Brechungskoeffizienten und Löschungskoeffizienten zur Verfügung zu stellen.
- Spektralanalytische Reflexion (190nm-1700nm) der polarisierten Leuchte in den mehrfachen Winkeln
- Spektralanalytisches ellipsometry mit rotierender Flatterdämpferauslegung (300nm-1700nm)
- Maßnahmedicke und Brechungskoeffizient unabhängig
- Multi-Winkel Differenziale Polarimetrie (MADP)technologie mit patentierter Differenziale Leistungs-SpektralDichtetechnologie (DPSD) SCIS
- Ideal für das Messen von ultradünnen Filmen (0,03 Å-Wiederholbarkeit auf gediegenem Oxid)
- Wahlweise generalisiertes ellipsometry (Verallgemeinerungsmethode der Grundmasse 4x4) für Anisotrophiemaße (nx, ny, nz)
- Ideal für messende hoch entwickelte Dünnfilme
Spektralanalytische Ellipsometer Merkmale FilmTek™ 2000SE
- Vielseitig: Spektralanalytisches ellipsometer FilmTek™ 2000SE enthält generalisiertes materielles Baumuster SCIS mit hoch entwickelten Algorithmen der globalen Optimierung für simultane Bestimmung von:
- Mehrfache Schichtstärken
- Brechungskoeffizienten [N (l)]
- Koeffizienten der Löschung (Absorption) [K (l)]
- Energiebandabstand [Z.B.]
- Konstituierender und ungültiger Bruch
- Filmsteigung
- Niedrige Kosten: Die Kosten des Besitzes spektralanalytischen ellipsometer FilmTek™ 2000SE sind mit vergleichbaren Instrumenten sehr wettbewerbsfähig.
- Keine Speziellen Kenntnisse Benötigt: Wird spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ 2000SE Software konstruiert, damit minimale Erfahrung in den Personal Computern, in der optischen Auslegung des Dünnfilms oder in den Maßtechniken gefordert wird.
- Komplette „Drehung Schlüssel“ Anlage: Eine völlig integrierte spektralanalytische ellipsometer Maßanlage mit Kalibrierung, Datenerfassung und Analysesoftware.
- Berührungsfrei und zerstörungsfrei.
- Flexibel: Können spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ Kleinteile und Software leicht geändert werden, um eindeutigen Kundenanforderungen gerecht zu werden.
- Zusatzeinrichtungen:
- rechnergesteuerte automatisierte Stufe.
- Kassette zum Kassettenwaferhandhaben
- Kleine Spotgröße (50 Mikrons)
- Mustererkennung (Cognex)
Spektralanalytische Ellipsometer Anwendungen FilmTek™ 2000SE
Praktisch alle lichtdurchlässigen Filme, die in der Stärke von 1 Ångström zu ungefähr 150 Mikrons sich erstrecken, können mit hoher Präzision unter Verwendung des spektralanalytischen ellipsometer FilmTek™ 2000SE gemessen werden. Typische spektralanalytische ellipsometer FilmTek™ 2000SE Anwendungen umfassen:
- Halbleiter und dielektrische Materialien
- Computerplatten
- Mehrschichtige optische Beschichtung
- Überzogenes Glas
- Optische Antireflexionsschicht
- Dünne Metalle
- Elektrooptische Materialien
- Solarzellen