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分光镜 Ellipsometer - FilmTek™ 2000SE

FilmTek™ 2000SE 是薄膜描述特性的一高性能分光镜 ellipsometer 从深紫外的该评定到 NIR (190-1700nm)。 凭一个转动的补偿器设计, FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 结合分光镜 ellipsometry 以多个角度反射计做于评定厚度和光学常数理想地说适合的它 (n & k) 非常薄膜。 除分光镜 ellipsometry 和 DUV 反射计之外, FilmTek™ 3000SE 分光镜 ellipsometer 添加传输评定功能。 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 使用 SCI 的物质塑造的软件提供为胶片厚度的同时评定,折射率和消光系数的一个价格合理和可靠的薄膜评定工具。
  • 分光镜反映 (190nm-1700nm) 偏光在多个角度
  • 分光镜 ellipsometry 与转动的补偿器设计 (300nm-1700nm)
  • 评定胶片厚度和折射率独立地
  • 与 SCI 的给予专利的 (MADP)有差别的功率光谱密度技术的多角度有差别的测极化 (DPSD)技术
  • 评定的超薄的影片 (在当地氧化物的 0.03 Å 反复性理想)
  • 选项概括的 ellipsometry (4x4 矩阵概念化方法) 各向异性现象评定的 (nx, ny, nz)
  • 评定的先进的薄膜的理想

FilmTek™ 2000SE 分光镜 Ellipsometer 功能

  • 多才多艺: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 合并与先进的全球优化算法的 SCI 的概括的物质设计同时确定的:
    • 多个层厚度
    • 折射率 [n (l)]
    • 绝种 (吸收) 系数 [k (l)]
    • 能带空白 [即]
    • 构成和无效分数
    • 影片梯度
  • 低成本: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 所有权的费用是非常竞争的与可比较的仪器。
  • 没有要求的特殊知识: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 软件被设计,以便需要在个人计算机、薄膜光学设计或者计量技术的最小的经验。
  • 完全 “轮关键”系统: 与定标、购买和分析软件的一个充分地集成分光镜 ellipsometer 测量系统。
  • 没有接触和非破坏性。
  • 灵活: 可以容易地修改 FilmTek™分光镜 ellipsometer 硬件和软件满足唯一用户要求。
  • 可选功能:
    • 计算机控制的自动化的阶段。
    • 对卡式磁带薄酥饼处理的卡式磁带
    • 小的光点直径 (50 微米)
    • 模式识别 (Cognex)

FilmTek™ 2000SE 分光镜 Ellipsometer 应用

使用 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer,实际上排列在厚度的所有透亮影片从 1 埃到大约 150 微米可以评定与高精度。 典型的 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 应用包括:

  • 半导体和电介质材料
  • 计算机盘
  • 多层光学涂层
  • 上漆的玻璃
  • 光学抗反射膜
  • 稀薄的金属
  • 电子光学的材料
  • 太阳能电池

Last Update: 3. February 2012 18:00

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