FilmTek™ 2000SE 是薄膜描述特性的一高性能分光镜 ellipsometer 从深紫外的该评定到 NIR (190-1700nm)。 凭一个转动的补偿器设计, FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 结合分光镜 ellipsometry 以多个角度反射计做于评定厚度和光学常数理想地说适合的它 (n & k) 非常薄膜。 除分光镜 ellipsometry 和 DUV 反射计之外, FilmTek™ 3000SE 分光镜 ellipsometer 添加传输评定功能。 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 使用 SCI 的物质塑造的软件提供为胶片厚度的同时评定,折射率和消光系数的一个价格合理和可靠的薄膜评定工具。
- 分光镜反映 (190nm-1700nm) 偏光在多个角度
- 分光镜 ellipsometry 与转动的补偿器设计 (300nm-1700nm)
- 评定胶片厚度和折射率独立地
- 与 SCI 的给予专利的 (MADP)有差别的功率光谱密度技术的多角度有差别的测极化 (DPSD)技术
- 评定的超薄的影片 (在当地氧化物的 0.03 Å 反复性理想)
- 选项概括的 ellipsometry (4x4 矩阵概念化方法) 各向异性现象评定的 (nx, ny, nz)
- 评定的先进的薄膜的理想
FilmTek™ 2000SE 分光镜 Ellipsometer 功能
- 多才多艺: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 合并与先进的全球优化算法的 SCI 的概括的物质设计同时确定的:
- 多个层厚度
- 折射率 [n (l)]
- 绝种 (吸收) 系数 [k (l)]
- 能带空白 [即]
- 构成和无效分数
- 影片梯度
- 低成本: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 所有权的费用是非常竞争的与可比较的仪器。
- 没有要求的特殊知识: FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 软件被设计,以便需要在个人计算机、薄膜光学设计或者计量技术的最小的经验。
- 完全 “轮关键”系统: 与定标、购买和分析软件的一个充分地集成分光镜 ellipsometer 测量系统。
- 没有接触和非破坏性。
- 灵活: 可以容易地修改 FilmTek™分光镜 ellipsometer 硬件和软件满足唯一用户要求。
- 可选功能:
- 计算机控制的自动化的阶段。
- 对卡式磁带薄酥饼处理的卡式磁带
- 小的光点直径 (50 微米)
- 模式识别 (Cognex)
FilmTek™ 2000SE 分光镜 Ellipsometer 应用
使用 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer,实际上排列在厚度的所有透亮影片从 1 埃到大约 150 微米可以评定与高精度。 典型的 FilmTek™ 2000SE 分光镜 ellipsometer 应用包括:
- 半导体和电介质材料
- 计算机盘
- 多层光学涂层
- 上漆的玻璃
- 光学抗反射膜
- 稀薄的金属
- 电子光学的材料
- 太阳能电池