A elipsometria espectroscópica Film SE200BA Sistema de Medição de Espessura é um instrumento utilizado para medir com precisão a espessura de película fina, determinar as constantes ópticas, investigar fenômeno de superfície e interface e muitas outras características físicas, químicas e propriedades ópticas dos materiais.
Características
Características do SE200BA elipsometria espectroscópica incluem:
- Fácil de configurar
- Fácil de operar com software baseado em janela
- Design avançado ótica para melhor desempenho do sistema
- Mudar automaticamente ângulos de incidência na resolução de 0,01 graus
- High Power fonte de luz DUV-VIS para aplicações de banda larga
- Sistema Array detector baseado a uma medição rápida
- Medir a espessura de filme e Índice de Refração até 12 camadas
- Capaz de ser usado para tempo real ou em linha de espessura, o monitoramento do índice de refração
- Sistema vem com banco de dados abrangente constantes ópticas e biblioteca
- Avançados TFProbe Software 3.0 permite ao usuário utilizar uma tabela NK, dispersão ou aproximação media efetiva (EMA) para cada filme individual.
- Três de controle de nível de usuário diferente: Modo Engineer, modo de serviço do sistema e modo de usuário fácil
- Modo de engenheiro flexível para configuração e testes diversos receita modelo óptico
- Solução de um clique no botão (Turn-key) robusto para medição rápida e de rotina
- Configurável parâmetros de medição, a preferência do usuário e facilidade de operação
- Totalmente calibração automática e inicialização para o sistema
- Interface de alinhamento preciso de amostra a partir do sinal da amostra diretamente, sem ótica externa necessária
- Altura precisa de ajuste de inclinação e
- Se aplicam a muitos tipos diferentes de substratos com diferentes espessuras
- Várias opções, acessórios disponíveis para configurações especiais, tais como mapeamento de estágio, extensão de comprimento de onda, o foco local, etc
- Gráficos 2D e 3D de saída e interface de usuário amigável gestão de dados
Aplicações
O SE200BA elipsometria espectroscópica é adequado para uso em:
- Fabricação de semicondutores (PR, Óxido, Nitreto ..)
- Display de cristal líquido (ITO, PR, gap celular ... ..)
- Forensics, filmes biológicos e materiais
- Tintas, Mineralogia, Pigmentos, Toners
- Produtos farmacêuticos, dispositivos Medial
- Revestimentos ópticos, TiO2, SiO2, Ta2O5 ... ..
- Compostos de semicondutores
- Filmes funcionais em MEMS / MOEMS
- Amorfas, nano e Si cristalino