Para SR300 spektroskopi reflectometer & Sistem Pengukuran Ketebalan Film dapat digunakan untuk mengukur ketebalan film, indeks bias, refleksi, transmisi dan penyerapan spektrum film thinf dan coating.
Fitur
Fitur dari Sistem Pengukuran Ketebalan SR300 reflectometer & Film spektroskopi adalah sebagai berikut:
- Mudah untuk mengatur
- Mudah dioperasikan dengan perangkat lunak berbasis Jendela
- Canggih optik desain untuk kinerja sistem yang terbaik
- Array detektor berbasis sistem untuk memastikan pengukuran cepat
- Dirancang unik sumber cahaya intensitas yang lebih baik untuk stabilitas
- Ada empat cara untuk mengatur intensitas cahaya:
- Power output penyesuaian oleh kenop dari catu daya
- Masukkan filter ke dalam slot filter di pintu keluar pelabuhan output cahaya
- Beam ukuran penyesuaian
- Integrasi waktu penyesuaian dari perangkat lunak TFProbe Detector
- Ukur ketebalan film dan Indeks bias sampai 5 lapisan
- Memungkinkan untuk memperoleh refleksi, transmisi dan spektrum absorpsi dalam milidetik
- Mampu digunakan untuk real time atau in-line ketebalan, pemantauan indeks bias
- Sistem dilengkapi dengan database yang komprehensif konstanta optik dan perpustakaan
- Software TFProbe canggih memungkinkan pengguna untuk menggunakan tabel NK, dispersi atau efektif pendekatan media (EMA) untuk setiap film individu.
- Upgradeable untuk MSP (microspectrophotometer) sistem, sistem SRM Pemetaan, sistem saluran Beberapa, Spot besar untuk pengukuran langsung atas bermotif atau struktur fitur
- Terapkan untuk jenis yang berbeda dari substrat dengan ketebalan yang berbeda
- Tersedia untuk konfigurasi khusus seperti pengukuran berjalan di atas permukaan kurva berbagai aksesoris
- 2D dan 3D output grafis dan user friendly antarmuka manajemen data
Aplikasi
Para SR300 spektroskopi reflectometer & Sistem Pengukuran Ketebalan Film cocok untuk digunakan dalam:
- Semikonduktor fabrikasi (PR, Oksida, Nitrida ..)
- Liquid crystal display (ITO, PR, kesenjangan your ... ..)
- Forensik, Biologi film dan bahan
- Tinta, Mineralogi, Pigmen, toner
- Farmasi, Perangkat medialis
- Optik pelapis, TiO2, SiO2, Ta2O5 ... ..
- Senyawa semikonduktor
- Fungsional film di MEMS / MOEMS
- Amorf, nano dan Si kristal