Комплексное Решение Проблемы Технологий Солнця Ангстрома для Встроенного Контроля Толщины Фильма с Спектроскопическим Рефлектометром легкая для использования системы для контролировать толщину фильма и R.I.
Характеристики
характеристики Встроенной Системы мониторинга Толщины Фильма включают:
- Низкая цена
- Легко для того чтобы настроить
- Легко для того чтобы работать с Окном основал програмное обеспечение
- Предварительная оптика конструирует для самой лучшей системной производительности
- Оденьте основанную систему детектора для того чтобы обеспечить быстрое измерение
- Уникально конструированный источник света для более лучшей стабилности интенсивности
- в реальном масштабе времени или встроенные толщина фильма Контроля и R.I. до 5 слоев
- Множественный Канал/Многократная Цепь Распологают Одновременное Измерение
- Система приходит с всесторонними оптически базой данных и архивом констант
- Конфигурируемо к системе MSP (Microspectrophotometer), системе Отображения SRM
- Приложите к много разный вид субстратов с различной толщиной
- Протокол RS232 для Управления Хозяина
- Автоматические спектр журнала, результаты толщины и диаграммы штуцера
- Предварительная Глобальная модель ZR позволяет извлечь местную пожеланную информацию от Большого Измерения Зоны Пятна над сделанной по образцу структурой как IMD, ILD1, ILD3 Etc.
Применения
Встроенная Система мониторинга Толщины Фильма одета к применениям как:
- Изготовление Полупроводника (PR, Окись, Нитрид.)
- Дисплей Жидкостного кристалла (ITO, PR, зазор Клетки .....)
- Индустрия Фотоэлемента
- Чернила, Минералогия, Пигменты, Тонеры
- Фармацевтическая продукция, Медиальные Приборы
- Оптически покрытия, TiO2, SiO2, Дао25 .....
- Смеси Полупроводника
- Функциональные фильмы в MEMS/MOEMS
- Аморфический, nano и кристаллический Si