Die Brooks Familie von extrem leistungsstarken direkten Flüssigkeitseinspritzung (DLI) Verdampfer-Lösungen für Kunden, die zuverlässige Flüssigkeitsverdampfung benötigen. Mit seinem einzigartigen Zerstäubung und Wärmetauscher-Technologien liefern Brooks direkte Flüssigkeitseinspritzung Vaporizer reinen Dampf für jede Anwendung. Zu den Anwendungen gehören:
- Wasserverdampfung für Brennstoffzellen-Stack Befeuchtung und viele andere Wassersportarten Neben Anwendungen
- Flüssigen Vorstufe Verdampfung für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Metalloxid chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomic Layer Deposition (ALD)
- Abscheidung von dünnen Folien für verbesserte thermische, optische oder Härte Eigenschaften wie diamond-like carbon coating und Glasbeschichtung
- Verdampfen Monomere für Vakuum-Polymer Schichtabscheidung
- Generieren Kalibrierung Dampf
- Verdampfen flüssigen Kohlenwasserstoffen
- Viele weitere
Brooks 'direkte Flüssigkeitseinspritzung Verdampfer-Technologie überwindet die vielen Einschränkungen konventioneller Verdampfen Technologien. Bubbler oder Dampf machen Systeme, sind schwer zu starten und zu stoppen, erfordern eine sehr genaue Steuerung von Temperatur und Druck, und sind zu generieren gut kontrolliert Brüdenmassenstrom ineffizient. Verdampfen Ventile, sind heiß Fritte, Begleitheizung und andere "flash-Verdampfer", dass die Wärme anwenden, um die Flüssigkeit mit einem heißen Metalloberfläche auch bei Erzeugung Dampfmasse ineffiziente und häufig kann die thermische Zersetzung des flüssigen Vorstufe verursachen. Keine dieser konventionellen Technologien kann dadurch die Gefahr von Flüssigkeit carry-over und die damit verbundenen Probleme. Abbildung 1 auf Seite 2 zeigt CVD-Abscheidung Kammer Druckschwankungen durch unvollständige Verdampfung und Vorläufer carry-over von einem herkömmlichen Verdampfer verursacht.
Darüber hinaus ist es sehr schwierig, genau zu bestimmen, wie viel Dampf Masse wird tatsächlich von einem herkömmlichen Verdampfer geliefert. In Anwendungen, die präzise Dampfmasse Zusätzlich erfordern, müssen die Benutzer zur sekundären Messung / Steuerung Geräte wie Dampf Mass Flow Controllern wiederum erhöht die Kosten und Komplexität des Dampfes Modul.