Ginawa para sa mga semiconductor, MOCVD, at iba pang mga gas daloy control application na nangangailangan ng isang mataas na kadalisayan lahat-ng-metal daloy ng path, ang Brooks GF Series mass daloy controllers maghatid ng natitirang pagganap, kahusayan, at flexibility.
Highlight ng GF mga serye industriya-nangungunang mga tampok ay kinabibilangan ng: masyadong mabilis 300 millisecond pag-aayos ng oras, MultiFlo ™ gas at programmability ng hanay, opsyonal na presyon na lumilipas na kawalan ng damdamin (PTI), lokal na display, lubhang mababa wetted ibabaw ng lugar, at kaagnasan lumalaban Hastelloy ® sensor tubo at balbula upuan. Ang GF serye ay marapon nasubukan sa higit sa tatlong beses sa semiconductor industry standard para sa pagiging maaasahan, tinitiyak repeatable mababang-naaanod na pagganap sa paglipas ng panahon. Isang malayang diagnostic / serbisyo port permit sa mga gumagamit upang maareglo o baguhin ang mga kondisyon ng daloy ng nang hindi pag-alis ang daloy ng controller ng masa mula sa serbisyo.
Punong barko GF125 ay isang ikalawang henerasyon multi-variable, presyon lumilipas insensitive mass daloy ng controller. Ang produktong ito builds sa pamumuno posisyon Brooks 'sa presyon lumilipas insensitive (PTI) mass teknolohiya daloy ng controller, minimizing proseso ng gas daloy ng pagkakaiba-iba dahil sa mga pagbabago sa presyon at temperatura. Ang GF125 ay nagbibigay-daan sa mga customer sa gawing simple at bawasan ang laki at halaga ng mga panel ng gas sa pamamagitan ng pag-aalis ang kailangan para sa punto ng regulators gamitin presyon, presyon transducers, at nauugnay na hardware.
MultiFlo ™ gas at programmability ng hanay, ng isang patented teknolohiya na binuo at pino sa pamamagitan ng Brooks sa nakaraang 10 taon, ay nagbago ang daloy ng masa industriya ng controller sa pamamagitan ng nag-aalok ng mga customer ng kakayahan upang piliin ang mga bagong calibrations ng gas at mga saklaw sa buong sukat na walang problema at gastos ng pag-alis ng mass daloy ng controller mula sa linya ng gas. Ang GF Series ikaapat na henerasyon ng teknolohiya MultiFlo patuloy na humantong ang merkado sa ang pinaka-tumpak at pinakamalawak na hanay ng pagganap sa pamamagitan ng malawak na refinement at pisikal na pagpapatunay sa mga kritikal na gas proseso.
Ang GF Series ay isang mataas na-configure na platform na batay sa isang nobelang modular architecture. Mayroon malawak na pinagtibay sa pamamagitan ng semiconductor, vacuum ng film manipis, solar, at mga kaugnay na mga customer, ang tampok ng GF Series set ay maingat na pinili upang paganahin ang drop-sa kapalit at upgrade ng karamihan sa mga tatak ng metal-seal controllers sa daloy ng masa, kabilang ang dating Unit Celerity,, Tylan, at Mykrolis tatak. Sa malawak na hanay ng mga pagpipilian at tampok na magagamit, ang GF Series ay nagbibigay ng mga gumagamit sa isang path sa pagpapagaan at standardisasyon, lubhang pagbabawas ng mga spares ng imbentaryo at mga gastos sa suporta.