ブルックスのデジタルサーマルマスフローコントローラとメートル、世界中でインストールされている15万件以上で、より速い応答、優れた精度、およびアナログ製品に比べて改善された制御を提供します。
スマートリンクのアドバンテージ（SLA）シリーズは、ブルックスの最高のスマートデジタルサーマル質量流量のシリーズです。 SLAの質量流量コントローラと質量流量計、高度なサービスツールへのリンクとデジタルのプロトコルの利点を提供する。 SLAシリーズは、拡張された温度安定性、ゼロドリフトの診断、改善されたターンのためのコプレーナバルブ、など多くの高度な機能を提供します。
ブルックスサーマルマスフローメータおよびマスフローコントローラのような利点があります：
- 業界をリードする再現性は変化する状況下でも安定したプロセスを確実に
- 自己診断機能とアラームは、ダウンタイムを排除
- 複数の通信プロトコルは、多くの制御システムへの容易な統合を可能にする
- エラストマーシールのオプションは、例外的なリークの整合性を提供し、コントロールバルブの遮断の信頼性を最大化
- 超高純度（UHP）と金属のシールのオプションは、汚染に敏感なプロセスのためにきれいな流路を確保する
ブルックスインスツルメント5800シリーズサーマルマスフローメータ＆サーマルマスフローコントローラの一般的な特徴
- <3 CCM〜2500 LPMから測定し、ガスの排出の抑制等のための幅広いFS流量レンジ（N2換算）
- 最大1200 LPMに精度：±率の1.0％（20％-100％FS）± 0.2％FS（20％以下FS）1200年から2500年LPM：直線性を含めて± 1％FS。 （キャリブレーションの条件で）。
- センサーの安定性、業界をリード。年間<0.2％の長期ドリフト性能。メンテナンスを削減し、定期的なレシピの調整を排除することによってシステムのスループットを増加した。
- 最大10選択可能な検量線への記憶。スペアの在庫は、在庫保有コストを削減し、個々のMFC / Mの必須の数を制限することによって低減されます。
- エラストマーのdownportのプロセスの接続オプションは、効率的なフットプリントで、簡単なインストールとメンテナンスを提供するために、ANSI / ISA SP - 76規格に準拠しています。
制御応答
- 1秒未満のセトリング時間。 （ご要望に応じてよりよい）。
- ソフトスタートは、プロセスの要件に合わせてMFCパフォーマンスに使用することができます。
- 独自の適応型バルブ制御アルゴリズムは、プロセス圧力の予想外の変動が設定値から逸脱する流れが発生していないことの保証が入手可能です。