وتصاعد تكلفة النظم تجريد جديدة إلى مستويات غير معقولة. وقد شيدت عرفانا حل هذه المشكلة الحرجة. تنظيف البلازما أبولو النظام هو المدمجة ، نظام غير مكلفة وتنوعا ، والتي يمكن التعامل مع 100 - 300mm رقائق. ويمكن من خلال استخدام إما برنامج المقارنات الدولية أو الميكروويف وطاقة ترددات الراديو RF التحيز حسب الحاجة ، من الصعب إزالة طبقات من مقاومة يمكن إزالتها عند درجات حرارة منخفضة. كما هو مطلوب من قبل التطبيق ، وهذا يمكن دمج نظام البرق SST - الميكروويف المصدر (الذي هو على حد سواء موثوق بها وخالية من المشاكل المعتادة ضبط الميكروويف) أو التكنولوجيا برنامج المقارنات الدولية.
مواصفات
- حفر ما يصل الى معدلات 6ìm/min
- 100mm إلى 300mm رقائق
- ارتفاع إنتاجية
- بصمة صغيرة
- انخفاض الضرر البلازما
- بأسعار تنافسية
- ضبط النفس
تطبيقات
- ممس
- مجمع اشباه الموصلات
- خط الانتاج التجريبي.