Die Kosten von neuen abstreifenden Systemen haben sich zu den unvernünftigen Niveaus entwickelt. Trion hat dieses kritische Problem gelöst. Das Apollo-Plasmareinigungssystem ist ein Vertrags-, billiges und vielseitigessystem, das 100-300mm Oblaten behandeln kann. Indem Sie entweder ICP oder Mikrowelle und schräge Energie RFS einsetzen, wie gebraucht, schwierig, Schichten von zu entfernen, widerstehen Sie kann bei den niedrigen Temperaturen entfernt werden. Wie von Anwendung gefordert, kann dieses System die SST-Blitz Mikrowellenquelle (die enthalten und frei von abstimmenden Problemen der typischen Mikrowelle zuverlässig ist) oder ICP-Technologie.
Spezifikationen
- Ätzung veranschlagt bis zu 6ìm/min
- 100mm bis 300mm Oblaten
- Hoher Durchsatz
- Kleiner Abdruck
- Niedriger Plasmaschaden
- Wettbewerbsfähig gefestsetzt
- Selbsteinstellend
Anwendungen
- MEMS
- Verbindungshalbleiter
- VersuchsSerienproduktion.