El costo de los nuevos sistemas de extracción se ha intensificado a niveles razonables. Trion ha resuelto este problema crítico. El sistema de limpieza de Apolo plasma es un sistema compacto, barato y versátil, que puede manejar 100-300mm obleas. Mediante el empleo de cualquiera de ICP o en el microondas y la potencia de RF sesgo según sea necesario, difícil de eliminar las capas de resistencia se puede quitar a bajas temperaturas. Como lo requiere la aplicación, este sistema puede incorporar la SST-Rayo fuente de microondas (que es a la vez fiable y libre de problemas típicos de microondas tuning) o la tecnología ICP.
Especificaciones
- Las tasas de grabar hasta 6ìm/min
- 100mm a obleas de 300 mm
- De alto rendimiento
- Ocupa poco espacio
- Daños de plasma de baja
- Precios competitivos
- Auto-tuning
Aplicaciones
- MEMS
- Semiconductores compuestos
- Piloto de Línea de Producción.