新しいストリッピングシステムのコストは、無理なレベルにエスカレートしている。 Trionはこの重大な問題を解決しました。アポロプラズマ洗浄装置は、100 300mmウエハを処理できる、コンパクト、安価で汎用性の高いシステムです。必要に応じてICPまたはマイクロ波およびRFバイアスパワーのどちらかを採用することにより、困難なレジストの層を除去するために低温で除去することができます。アプリケーションの必要に応じて、このシステムは、SST -ライトニングのマイクロ波源（信頼性の高い典型的なマイクロ波のチューニングの問題から自由な両方である）またはICPの技術を組み込むことができます。
仕様
- エッチレートは最大6ìm/minへ
- 300mmウェーハの100mm
- ハイスループット
- 小さなフットプリント
- 低プラズマダメージ
- 競争力のある価格
- セルフチューニング
アプリケーション