Ang gastos ng mga bagong pagkakalag sistema ay tumataas sa hindi makatwiran antas. Trion ay malutas ito kritikal na problema. Apolo Ang sistema ng paglilinis ng plasma ay isang compact, murang at maraming nagagawa system, na maaaring hawakan ng mga 100-300mm wafers. Sa pamamagitan ng employing alinman ICP o microwave at RF bias kapangyarihan kung kinakailangan, mahirap alisin ang mga layer ng paglaban ay maaaring alisin sa mababang temperatura. Tulad ng kinakailangan sa pamamagitan ng application, ang sistema na ito ay maaaring isama ang SST-Lightning microwave source (na kung saan ay parehong maaasahan at libre mula sa mga karaniwang problema sa microwave tuning) o ICP teknolohiya.
Mismong
- Mag-ukit rate ng hanggang sa 6ìm/min
- Wafers ng 100mm sa 300mm
- Mataas na throughput
- Maliit na bakas ng paa
- Mababang plasma pinsala
- Mapagkumpitensya presyo
- Self-tuning
Mga Application
- MEMS
- Tambalan semiconductor
- Produksyon ng Pilot Line.