تم تصميم الثالث فانتوم راي (رد الفعل ايون نظام حفر) لتوريد الأبحاث ومختبرات تحليل الفشل مع دولة من بين الفن البلازما القدرة حفر واحد باستخدام رقائق وفاة أو أجزاء باستخدام الفلور والأكسجين إلى كيمياء. نظام لديه المدمجة ، تصميم وحدات مبنية على منصة توفيرا للمساحة.
تطبيقات
وقد تم تطوير عمليات الحفر سواء الخواص أو متباين من ثاني أكسيد السيليكون ، والسيليكون نيتريد وغيرها من المواد التي تتطلب المفلورة أو أي غير سامة ، وكيمياء غير قابلة للتآكل. فانتوم الثالث يأتي مع دعم كامل العملية على حد سواء لالمسبقة واللاحقة لشراء.
ميزات أداة
- مفاعل
هي كل الكاثود وأنود تشكيله من كتل واحدة من الألمنيوم. بعد التفتيش حرجة هم يؤنود الثابت للحماية من كيمياء العملية. القطب السفلي هو متاح في أي الأحجام 200MM أو 300mm رقائق ويمكن معالجة واحد ، أو أجزاء وفاة (2 "-- 300mm). يتم إدخال غازات العملية إلى غرفة إما من قبل عصابة حلقية أو مشعب الدش. - التلقائي شبكة المطابقة
يتم بناء شبكة مصممة بشكل فريد في بوصفها جزءا لا يتجزأ من التجمع القطب السفلي لضمان ضبط دقة ، وانخفاض خسارة الإرسال وعمليا أي إشعاع الترددات اللاسلكية خارج الشبكة نفسها. كانت الشبكة تستخدم جهاز استشعار حجم المرحلة ومكبرات الصوت لتوفير التغذية الراجعة الفورية لضبط دقة سريعة. - مولد الترددات
ويأتي مع نظام واط 600 ، 13،56 ميغاهيرتز ، الترددات اللاسلكية الصلبة مولد الدولة. - واجهة شاشة تعمل باللمس المشغل
والشاشة الملونة المسطحة مع واجهة الشاشات التي تعمل باللمس ويوفر المشغل بمعلومات عملية كاملة في جميع الأوقات. أدلة واجهة البرنامج المشغل من خلال كل تسلسل بطريقة منطقية ويعطي السيطرة الإصبع لجميع المعلمات العملية. - PC عملية المراقب المالي
وحدة تحكم عملية PC يوفر بسيطة وموثوق بها نظام مراقبة. حزمة البرامج الرسومية يخلق برامج الرسم البياني في شكل كتلة. يتم تخزين وصفات العملية على القرص الصلب أو يمكن تخزينها على ذاكرة فلاش USB يسمح لكل مشغل للحفاظ على وصفات فردية. - AC توزيع الوحدة
وحدة التوزيع AC بتوزيع كميات الطاقة تلقائيا محددة مسبقا إلى المكونات الداخلية المختلفة. عندما تعثرت السلطة الطوارئ قبالة زر ، يتم إيقاف تشغيل الطاقة RF ، وتغلق تلقائيا جميع العاملين في مجال تقديم صمامات الغاز وصلاحيات الجهاز وصولا الى وضع ستاندباي آمنة. هذا النظام يتضمن ضوابط للطاقة منفصل AC الرئيسية والأجهزة الطرفية. - التلقائي السيطرة على ضغط
كل نظام شيدت عرفانا يتضمن السيطرة على ضغط صمام فراشة تشغيلها مباشرة من قبل وحدة تحكم العملية. وهذا يوفر السيطرة على ضغط مستقلة منفصلة عن تجهيز جميع المعلمات الأخرى. - تسليم الغاز النظام
وتستخدم للدولة من بين أحدث التقنيات لضمان سلامة قصوى والنقاء. كل غرفة تستوعب رد فعل جهازي تحكم تدفق الشامل وجميع أعمال السباكة ويستخدم سطح جبل ، والتكنولوجيا ، C - الختم أو المدارية ملحومة التجهيزات VCR. - سلامة
النظام يلبي متطلبات السلامة SEMI S2 - 93. هذا النظام هو CE متوافقة مع ماكينات التوجيه 98/37/EC ، وتوجيه الجهد 73/23/EEC قليلة والتوجيه 89/336/EEC التوافق الكهرومغناطيسي لمتطلبات CE تمييز. ألف سلامة طرف ثالث استعراض يتوفر عند الطلب.