L'III Fantôme RIE (système réactif gravure à l'eau forte d'ion) est conçu pour fournir des laboratoires d'analyse de recherches et d'échec le plasma de pointe gravent à l'eau-forte la capacité utilisant de seules gaufrettes, matrices ou pièces utilisant le fluor et les chimies à base d'oxygène. Le système a un contrat, conception modulaire construit sur une plate-forme qui fait gagner de la place.
Applications
Des Processus ont été développés pour gravure à l'eau-forte isotrope ou anisotrope du silice, du nitrure de silicium et d'autres matériaux exigeant chimies fluorées ou toutes les non-toxiques, non-corrosives. L'III Fantôme vient avec l'appui de processus total avant et à la suite de l'achat.
Caractéristiques d'Outil
- Réacteur
La cathode et l'anode chacune sont usinées hors des blocs simples d'aluminium. Après Que critique inspection elles sont dur anodisées pour la protection contre des chimies de processus. L'électrode de sole est disponible dans des tailles de 200mm ou de 300mm et peut traiter les seules gaufrettes, matrices ou parties (2" - 300mm). Des gaz De Processus sont présentés dans la chambre par un anneau annulaire ou une tubulure de showerhead. - Réseau Assorti Automatique
Le réseau uniquement conçu est incorporé en tant que partie intégrante de l'ensemble d'électrode de sole pour n'assurer l'accord précis, la basse perte de transmission et pratiquement aucun rayonnement de RF en dehors du réseau lui-même. Le réseau utilise une sonde et des amplificateurs de grandeur de phase pour fournir la rétroaction instantanée pour l'accord vite précis. - Générateur de RF
Le système vient avec des 600 watts, 13,56 Mégahertz, générateur à semi-conducteur de RF. - Interface d'Opérateur d'Écran Tactile
Un écran à panneau plat de couleur avec l'interface d'écran tactile fournit à l'opérateur les pleines informations sur le processus à tout moment. L'interface du logiciel guide l'opérateur par chaque ordre d'une mode logique et donne le contrôle de bout du doigt de tous les paramètres de processus. - Contrôleur De Processus de PC
Le contrôleur de processus de PC fournit les commandes système simples et fiables. Le progiciel graphique crée des programmes sous la forme de schéma fonctionnel. Des recettes De Processus sont stockées sur l'unité de disque dur ou peuvent être stockées sur des commandes d'instantané d'USB permettant à chaque opérateur de maintenir différentes recettes. - Module de Distribution À C.A.
Le module de distribution À C.A. distribue automatiquement des quantités prédéfinies de puissance aux divers composants internes. Quand l'Alimentation De Secours Outre du bouton est déclenchée, la puissance de RF est coupée et toutes les valves impliquées de la livraison de gaz sont automatiquement fermées et les puissances de machine à un mode veille sûr. Ce système inclut des contrôles de puissance distincts pour le C.A. et les périphériques principaux. - Contrôle de la Pression Automatique
Chaque système de Trion inclut une pression de papillon actionnée par la valve de contrôle directement par le contrôleur de processus. Ceci fournit le contrôle de la pression indépendant séparé de tous autres paramètres de traitement. - Système de Livraison de Gaz
La technologie De pointe est utilisée pour assurer la plus grandes intégrité et pureté. Chaque chambre de réaction adapte à deux contrôleurs d'écoulement de la masse et toute la tuyauterie utilise le bâti extérieur, la technologie de C-Joint ou les garnitures soudées par orbitale de MAGNÉTOSCOPE. - Sécurité
Le système répond SEMI à des exigences de la sécurité S2-93. Le système est CE conforme avec la Directive 98/37/EC de Machines, la Directive 73/23/EEC de Basse Tension et la Directive 89/336/EEC de Compatibilité Électromagnétique pour des conditions d'Inscription de la CE. Un examen de sécurité de tiers est disponible sur demande.