प्रेत क्ष्क्ष्क्ष् आर.आई.ई. (प्रतिक्रियाशील आयन खोदना प्रणाली) के साथ अनुसंधान और विश्लेषण प्रयोगशालाओं की विफलता की आपूर्ति करने के लिए डिज़ाइन किया गया है राज्य के कला प्लाज्मा खोदना एकल वेफर्स मर जाता है, या भागों अधातु तत्त्व और ऑक्सीजन आधारित chemistries का उपयोग कर का उपयोग कर की क्षमता है. प्रणाली एक कॉम्पैक्ट, मॉड्यूलर डिजाइन अंतरिक्ष की बचत के एक मंच पर बनाया गया है.
अनुप्रयोगों
सिलिकॉन dioxide, सिलिकॉन नाइट्राइड और अन्य सामग्री fluorinated या किसी भी गैर विषैले, गैर संक्षारक chemistries की आवश्यकता के या तो isotropic या anisotropic नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के लिए विकसित किया गया है. प्रेत III पूरी प्रक्रिया दोनों से पहले और खरीद बाद समर्थन के साथ आता है.
उपकरण सुविधाएँ
- रिएक्टर
कैथोड और anode प्रत्येक एल्यूमीनियम का एक ब्लॉक के बाहर machined. महत्वपूर्ण निरीक्षण के बाद प्रक्रिया chemistries से सुरक्षा के लिए वे कड़ी मेहनत anodized हैं. नीचे इलेक्ट्रोड या तो 200mm या 300mm आकार में उपलब्ध है और एकल वेफर्स, मर जाता है या भागों (2 "- 300mm) की प्रक्रिया कर सकते हैं प्रक्रिया गैसों चेंबर में पेश कर रहे हैं या तो एक कुंडलाकार अंगूठी या एक showerhead कई गुना के द्वारा.. - स्वचालित मिलान नेटवर्क
सटीक ट्यूनिंग, कम संचरण हानि और नेटवर्क खुद के बाहर लगभग कोई आरएफ विकिरण को सुनिश्चित करने के अनोखे डिजाइन नेटवर्क नीचे इलेक्ट्रोड विधानसभा के एक अभिन्न अंग के रूप में बनाया गया है. नेटवर्क एक चरण परिमाण सेंसर और एम्पलीफायरों का उपयोग करता है जल्दी सटीक ट्यूनिंग के लिए तात्कालिक प्रतिक्रिया प्रदान करने के लिए. - आरएफ जनरेटर
एक 600 वाट, 13.56 मेगाहर्टज, ठोस राज्य आरएफ जनरेटर प्रणाली के साथ आता है. - टच स्क्रीन ऑपरेटर इंटरफ़ेस
स्पर्श स्क्रीन इंटरफ़ेस के साथ एक रंग फ्लैट पैनल डिस्प्ले हर समय पूरी प्रक्रिया की जानकारी के साथ ऑपरेटर प्रदान करता है. सॉफ्टवेयर इंटरफ़ेस प्रत्येक अनुक्रम के माध्यम से एक तार्किक फैशन में ऑपरेटर और गाइड सभी प्रक्रिया पैरामीटर की उंगलियों नियंत्रण देता है. - पीसी प्रक्रिया नियंत्रक
पीसी की प्रक्रिया सरल और विश्वसनीय प्रणाली नियंत्रण नियंत्रक प्रदान करता है. चित्रमय सॉफ्टवेयर पैकेज ब्लॉक आरेख के रूप में कार्यक्रम बनाता है. प्रक्रिया व्यंजनों हार्ड ड्राइव पर संग्रहित कर रहे हैं या USB फ्लैश ड्राइव प्रत्येक ऑपरेटर व्यक्तिगत व्यंजनों को बनाए रखने के लिए अनुमति देता है पर भंडारित किया जा सकता है. - एसी वितरण मॉड्यूल
एसी वितरण मॉड्यूल स्वतः विभिन्न आंतरिक घटकों के लिए पूर्वनिर्धारित शक्ति मात्रा में वितरित करता है. जब बटन के बाहर इमरजेंसी पावर फिसल गया है, आरएफ शक्ति बंद है और गैस वितरण के साथ शामिल सभी वाल्व स्वचालित रूप से बंद कर दिया और मशीन शक्तियों नीचे एक सुरक्षित standby मोड. इस प्रणाली के मुख्य एसी और बाह्य उपकरणों के लिए अलग से बिजली नियंत्रण भी शामिल है. - स्वचालित दबाव नियंत्रण
हर Trion एक तितली दबाव नियंत्रण वाल्व सीधे प्रक्रिया नियंत्रक द्वारा संचालित प्रणाली शामिल है. यह स्वतंत्र दबाव सभी अन्य प्रसंस्करण मानकों से अलग नियंत्रण प्रदान करता है. - गैस वितरण प्रणाली
राज्य के अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी के लिए अत्यंत अखंडता और शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए उपयोग किया जाता है. प्रत्येक कक्ष प्रतिक्रिया दो जन प्रवाह नियंत्रकों accommodates और सभी नलसाजी सतह माउंट, सी मुहर प्रौद्योगिकी या कक्षीय वेल्डेड वीसीआर फिटिंग का इस्तेमाल. - सुरक्षा
प्रणाली अर्ध S2 93 सुरक्षा आवश्यकताओं को पूरा करती है. प्रणाली मशीनरी निर्देशक 98/37/EC, नीची वोल्ट निर्देशक 73/23/EEC और CE चिह्नित आवश्यकताओं के लिए विद्युत चुम्बकीय संगतता निर्देशक 89/336/EEC के साथ CE अनुरूप है. एक तीसरे पक्ष के सुरक्षा की समीक्षा अनुरोध पर उपलब्ध है.