O III Fantasma RIE (sistema reactivo gravura em àgua forte do íon) são projectados fornecer laboratórios da análise da pesquisa e da falha com o plasma avançado gravam a capacidade usando as únicas bolachas, dados ou peças usando o flúor e o oxigênio - química baseadas. O sistema tem um estojo compacto, projecto modular construído em uma plataforma da espaço-economia.
Aplicações
Os Processos foram desenvolvidos para gravura a água-forte isotropic ou anisotrópica do dióxido de silicone, do nitreto de silicone e dos outros materiais exigindo química fluorinated ou todas as não-tóxicas, não corrosivas. O III Fantasma vêm com apoio completo do processo antes e no seguimento da compra.
Características da Ferramenta
- Reactor
O cátodo e o ânodo cada um são feitos à máquina fora dos únicos blocos de alumínio. Depois Que crítico inspecção são anodizados duramente para a protecção das química do processo. O eléctrodo inferior está disponível em tamanhos de 200mm ou de 300mm e pode processar as únicas bolachas, dados ou partes (2" - 300mm). Os gáss do Processo são introduzidos na câmara por um anel anular ou por um distribuidor do showerhead. - Rede de Harmonização Automática
A rede excepcionalmente projetada é construída dentro como uma parte integrante do conjunto do eléctrodo inferior para não assegurar o ajustamento exacto, a baixa perda de transmissão e a virtualmente nenhuma radiação fora da rede próprio do RF. A rede usa um sensor e amplificadores do valor da fase para fornecer o feedback instantâneo para o ajustamento rapidamente preciso. - Gerador do RF
O sistema vem com uns 600 watts, 13,56 Megahertz, gerador de circuito integrado do RF. - Relação de Operador da Tela de Toque
Um ecrã plano da cor com relação da tela de toque fornece o operador a informação de processo completa em todas as vezes. A relação de software guia o operador com cada seqüência em uma forma lógica e dá o controle de ponta do dedo de todos os parâmetros de processo. - Controlador do Processo do PC
O controlador do processo do PC fornece o controle de sistema simples e seguro. O pacote de software gráfico cria programas no formulário do diagrama de bloco. As receitas do Processo são armazenadas no disco rígido ou podem ser armazenadas em movimentações do flash de USB permitindo que cada operador mantenha receitas individuais. - Módulo da Distribuição de C.A.
O módulo da distribuição de C.A. distribui automaticamente quantidades predefinidas do poder aos vários componentes internos. Quando o botão dos Poderes de Emergência é tropeçado Fora, o poder do RF está cortado e todas as válvulas envolvidas com a entrega do gás são automaticamente fechados e os poderes da máquina para baixo a um modo à espera seguro. Este sistema inclui controles de poder separados para a C.A. e os peripherals principais. - Controle de Pressão Automático
Cada sistema de Trion inclui uma válvula de controle da pressão da borboleta operada directamente pelo controlador do processo. Isto fornece o controle de pressão independente separa de todos parâmetros de processamento restantes. - Sistema de Entrega do Gás
A tecnologia Avançada é utilizada para assegurar a integridade e a pureza máximas. Cada câmara da reacção acomoda dois controladores do fluxo maciço e todo o encanamento utiliza a montagem de superfície, a tecnologia do C-Selo ou os encaixes soldados orbital do VCR. - Segurança
O sistema cumpre SEMI exigências da segurança S2-93. O sistema é CE complacente com Maquinaria 98/37/EC Diretivo, a Baixa Tensão 73/23/EEC Diretivo e a Compatibilidade Eletromagnética 89/336/EEC Diretivo para exigências da Marcação de CE. Uma revisão da segurança do terceiro está disponível mediante solicitação.