T2 Sirus הריאקטיבי יון חרט (ורי) מתוך Trion טכנולוגיות היא פלזמה בסיסי תחריט מערכת שנועדה דיאלקטריים לחרוט וסרטים אחרים שדורשים פלואור מבוססי chemistries. טביעת רגל קטנה ועיצוב חזקים להפוך אותו אידיאלי עבור סביבת מעבדה.
יישומים
- MEMS
- מצב מוצק תאורה
- כשלון ניתוח
- מחקר ופיתוח
- פיילוט הקו
תכונות סטנדרטיות של T2 Sirus הריאקטיבי יון חרט
- Sirus T2 הכור עם אלקטרודה התחתונה 200mm
- מערכת בקר (כולל פנטיום ™ מחשב מבוסס מסך מגע ממשק)
- שני בקרי זרימה המונית
- כוונון אוטומטי עם מחולל 13.56 MHz 600 וואט RF
- מערכת החירום כבוי
- לחץ אוטומטי חבילה מלאה (שסתום פרפר עם מד קיבול למדידת הלחץ)
- 12 חודש אחריות מוגבלת