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  • Dynamic-Ceramic: UK supplier of advanced ceramics - zirconia and alumina products

等離子體刻蝕系統 - Sirus T2的桌面活性離子蝕刻(RIE)TRION技術

TRION技術 Sirus T2的活性離子蝕刻(RIE)是一個基本的等離子體刻蝕系統設計需要氟基化學蝕刻介質和其他電影。小尺寸和堅固的設計,使實驗室環境的理想選擇。

應用

  • 微機電系統
  • 固態照明
  • 故障分析
  • 研究與發展
  • 中試線

Sirus T2的活性離子蝕刻機的標準功能

  • Sirus T2的反應器底部電極200毫米
  • 系統控制器(包括奔騰™基於計算機和觸摸屏接口)
  • 兩個質量流量控制器
  • 13.56兆赫600瓦射頻發生器的自動調諧
  • 緊急關閉系統
  • 自動壓力控制包(蝴蝶閥壓力測量電容壓力計)
  • 12個月的有限保修

Last Update: 3. October 2011 18:04

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