Die Orion III Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)-System von Trion Technologies produziert die Produktion hochwertiger Filme auf einer kompakten Plattform. Das einzigartige Design Reaktor produziert geringe Belastung Filme mit ausgezeichneter Schritt Abdeckung bei extrem niedrigen Leistungsstufen.
Das System erfüllt alle Sicherheits-, Facility-und Prozess-Anforderungen im Labor-und Pilot-Linie Produktionsumgebungen. Die Orion III hat viele Standard-Funktionen in der Regel nicht auf einem System so preiswert, weshalb viele Anwender weltweit haben es sich PECVD-System der Wahl zu finden ist.
Anwendungen des Orion III PECVD-System
- MEMS
- Solid State Lighting
- Failure Analysis
- Forschung & Entwicklung
- Pilot-Linie
Eigenschaften des Orion III PECVD-System
- Reaktor
Die Kathode und Anode sind jeweils bearbeiteten aus einzelnen Blöcken von Aluminium. Nach kritischer Prüfung sind sie hart eloxiert zum Schutz vor chemischen Prozess. Die untere Elektrode ist entweder 200mm oder 300mm Größen und können einzelne Wafer, stirbt oder Teile (2 "- 300 mm) verarbeiten. Prozessgase werden in die Kammer entweder durch einen Ring oder einen Duschkopf vielfältigen eingeführt. - Untere Elektrode
Das System kommt mit einer 300 Watt, 300kHz bottom-gespeiste Elektrode - Touch-Screen-Bedienoberfläche
Ein Farb-Flachbildschirm mit Touchscreen-Benutzeroberfläche bietet dem Fahrer volle Prozess-Informationen zu allen Zeiten. Die Software-Schnittstelle führt den Bediener durch jede Sequenz in einer logischen Art und Weise und gibt präzise Steuerung aller Prozessparameter. - PC Process Controller
Die PC Prozesssteuerung ermöglicht einfaches und zuverlässiges System zu kontrollieren. Die grafische Software-Paket erstellt Programme in Form eines Blockdiagramms. Prozess Rezepte sind auf der Festplatte gespeichert oder können auf USB-Flash-Laufwerke ermöglicht jedem Veranstalter die individuelle Rezepturen gespeichert sein. - AC Distribution Module
Die AC-Distribution-Modul verteilt automatisch vordefinierte Strommengen zu den verschiedenen internen Komponenten. Wenn die Emergency Power Off-Taste ausgelöst wird, ist die HF-Leistung abgeschaltet und alle Ventile mit Gaszufuhr beteiligt werden automatisch geschlossen und die Maschine abschaltet, um eine sichere Standby-Modus. Dieses System umfasst separate Stromversorgung steuert für die Haupt-AC und Peripheriegeräten. - Automatic Pressure Control
Jeder Trion System beinhaltet ein Schmetterling Druckregelventil direkt durch die Prozess-Steuerung betrieben. Dies stellt eine unabhängige Druckregelung getrennt von allen anderen Prozessparametern. - Gas Delivery System
State-of-the-art-Technologie wird genutzt, um die höchste Integrität und Reinheit sicherzustellen. Jede Reaktionskammer bietet Platz für bis zu acht Massendurchflussregler und alle Rohrleitungen nutzt Surface Mount, C-Seal-Technologie oder orbitalgeschweißt VCR-Verschraubungen. - Sicherheit
Das System erfüllt SEMI_S2-93 Sicherheitsanforderungen. Das System ist CE-konform gemäß der Maschinenrichtlinie 98/37/EG, die Niederspannungsrichtlinie 73/23/EWG und der EMV-Richtlinie 89/336/EWG für die CE-Kennzeichnung. Ein Dritter Sicherheitsüberprüfung ist auf Anfrage erhältlich.