L'Orion III Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) à partir du système de production des technologies de Trion produit des films de qualité sur une plate-forme compacte. La conception du réacteur unique, produit des films à faible contrainte avec une couverture excellente étape à des niveaux d'énergie extrêmement faible.
Le système répond à toutes les exigences de sécurité, des installations et processus au sein du laboratoire et des environnements pilotes de ligne de production. Le III Orion a de nombreuses fonctions standard ne trouve généralement pas sur un système de sorte à un prix raisonnable, ce qui explique pourquoi de nombreux utilisateurs dans le monde entier en ont fait leur système de PECVD de choix.
Applications du système Orion III PECVD
- MEMS
- Solid State Lighting
- Analyse de défaillance
- Recherche & Développement
- Ligne pilote
Caractéristiques du système Orion III PECVD
- Réacteur
La cathode et l'anode sont chacun usinées d'un seul bloc d'aluminium. Après inspection critiques, ils sont difficiles anodisé pour la protection contre les chimies processus. L'électrode inférieure est disponible en tailles de 200mm ou de 300mm et peut traiter des plaquettes simples, décède ou pièces (2 "- 300mm). Processus de gaz sont introduits dans la chambre, soit par une bague annulaire ou un collecteur de pomme de douche. - Électrode inférieure
Le système est livré avec un 300 watts, 300kHz fond alimenté électrode - Interface opérateur à écran tactile
Un panneau d'affichage couleur à plat avec interface à écran tactile permet à l'opérateur de traiter l'information complète à tout moment. L'interface du logiciel guide l'opérateur à travers chaque séquence de façon logique et permet un contrôle du bout des doigts tous les paramètres du procédé. - Process Controller PC
Le contrôleur de processus de contrôle pour PC fournit système simple et fiable. Le logiciel graphique crée des programmes sous forme de diagramme. Processus recettes sont stockées sur le disque dur ou peuvent être stockées sur des lecteurs flash USB permettant à chaque opérateur de maintenir des recettes individuelles. - Module de distribution AC
Le module de distribution CA distribue automatiquement la puissance des quantités prédéfinies pour les différents composants internes. Lorsque le bouton d'arrêt d'urgence est déclenché, la puissance RF est coupée et toutes les vannes de gaz liées à la prestation sont automatiquement fermé et l'appareil se met en mode de sécurité veille. Ce système comprend des contrôles d'alimentation séparée pour les principaux AC et les périphériques. - Contrôle de pression automatique
Chaque système comprend Trion une vanne de régulation de pression de papillon exploités directement par la commande de processus. Cette offre de contrôle de pression indépendant, distinct de tous les autres paramètres de traitement. - Système de livraison de gaz
State-of-the-art technologies est utilisé pour assurer la plus grande intégrité et la pureté. Chaque chambre de réaction peut accueillir jusqu'à huit contrôleurs de débit massique et toute la plomberie utilise montage en surface, C-joint la technologie ou orbital raccords soudés magnétoscope. - Sécurité
Le système répond aux exigences de sécurité SEMI_S2-93. Le système est conforme aux normes CE avec les machines de la directive 98/37/CE, la directive basse tension 73/23/CEE et la directive 89/336/CEE Compatibilité électromagnétique Directive pour les exigences du marquage CE. Un examen par un tiers de sécurité est disponible sur demande.